[实用新型]低温液体移动容器现场供气系统

说明书

本实用新型公开了低温液体移动容器现场供气系统，包括移动式容器，还包括液体气化增压器和液体进口阀V23，所述液体气化增压器进液端通过液相管道与移动式容器相连，出气端连接有调压器和供气阀V21，所述调压器另一端与所述移动式容器连接，所述供气阀V21另一端与供气管道进气阀V22连接，所述液体进口阀V23的进液端位于所述液体气化增压器进液端与移动式容器之间，所述液体进口阀V23的出液端连接有一气化器，本实用新型的低温移动式容器装载量大，是钢瓶瓶组，Y瓶载量的50‑80倍，是长管拖车的2倍，供气周期长，减少客户现场用气切换次数，减少供气成本。

技术领域

本实用新型涉及低温液体供气领域，具体为低温液体移动容器现场供气系统。

背景技术

当前，半导体芯片、LED/OLED面板、太阳能等电子行业高纯气体(如高纯氧化亚氮、高纯二氧化碳等)的应用日渐普遍，目前的供气方式主要是高压钢瓶或钢瓶瓶组，Y瓶，长管拖车等方式，(都是高压常温的方式供气)随着高纯气体使用量越来越大，原有供气方式供应量较小，使用周期短，切换频繁，对电子生产工艺稳定性有一定影响，供应成本也偏高，需要一种新的大宗高纯气体的供应模式。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供低温液体移动容器现场供气系统，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：低温液体移动容器现场供气系统，包括移动式容器，还包括液体气化增压器和液体进口阀V23，所述液体气化增压器进液端通过液相管道与移动式容器相连，液体气化增压器出气端连接有调压器和供气阀V21，所述调压器另一端与所述移动式容器连接，所述供气阀V21另一端与供气管道进气阀V22连接，所述液体进口阀V23的进液端位于所述液体气化增压器进液端与移动式容器之间，所述液体进口阀V23的出液端连接有一气化器。

优选的，所述液相管道上设置有切断保护装置。

优选的，所述移动式容器上设置有调压器，用于维持移动式容器的设定压力。

优选的，所述气化器的另一端通过供气管道进气阀V22阀门供气。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型采用低温液体从低温移动容器直接气化(无需转冲其他容器)，通过调压器和气化器，以稳定的系统压力向电子客户现场供应高纯气体。

附图说明

图1为本实用新型低温液体移动容器现场供气系统的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。