[实用新型]一种用于单晶硅片生产的烤箱有效
| 申请号： | 202021027600.4 | 申请日： | 2020-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN212293843U | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 王德喜 | 申请（专利权）人： | 天津莱昌电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B33/02 |
| 代理公司： | 北京久维律师事务所 11582 | 代理人： | 邢江峰 |
| 地址： | 300203 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 单晶硅 生产 烤箱 | ||
1.一种用于单晶硅片生产的烤箱，包括箱体（1），其特征在于：所述箱体（1）内部中下端前侧、后侧均固定设置有固定杆（12），所述固定杆（12）顶端之间活动设置有移动板（11），所述移动板（11）顶端固定设置有放置板（10），所述放置板（10）顶端两侧均固定设置有若干放置架（8），所述箱体（1）外部右侧中部固定设置有加热机构（2），所述加热机构（2）在远离箱体（1）的一侧上端固定设置有连接管（3），所述连接管（3）顶端固定设置有风机（4），所述箱体（1）顶端固定设置有滤框（7），所述滤框（7）顶端与风机（4）之间固定设置有管体（5），所述风机（4）和加热机构（2）均配设有开关。
2.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅片生产的烤箱，其特征在于：所述固定杆（12）顶端均固定设置有滑条（16），所述移动板（11）底端前侧、后侧均开设有滑槽且滑条（16）均与滑槽内部滑动连接。
3.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅片生产的烤箱，其特征在于：所述箱体（1）外部左侧开设有通槽且通槽内部固定设置有挡板（9）。
4.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅片生产的烤箱，其特征在于：所述箱体（1）底端固定设置有排污头（13），所述风机（4）左侧与箱体（1）之间固定设置有固定架。
5.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅片生产的烤箱，其特征在于：所述移动板（11）顶端中部转槽（14），所述转槽（14）内部固定设置有转块（15）且转块（15）顶端与放置板（10）底端固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅片生产的烤箱，其特征在于：所述滤框（7）内部顶端与底端均固定设置有滤板（6）。
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