[实用新型]一种激光芯片光电性能检测装置有效
申请号: | 202021013413.0 | 申请日: | 2020-06-05 |
公开(公告)号: | CN212082781U | 公开(公告)日: | 2020-12-04 |
发明(设计)人: | 赵亮;涂洪森;王志刚;刘才勇 | 申请(专利权)人: | 哈工大机器人南昌智能制造研究院 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02;G01R31/28 |
代理公司: | 苏州金项专利代理事务所(普通合伙) 32456 | 代理人: | 金星 |
地址: | 330000 江西省南昌市小蓝*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 激光 芯片 光电 性能 检测 装置 | ||
本实用新型公开了一种激光芯片光电性能检测装置,包括设有第一安装座的底板,第一安装座上滑动安装有第一动力装置驱动的滑座,滑座上设有检测台;底板上还滑动安装有光强检测机构,光强检测机构的滑动方向与滑座的滑动方向垂直设置;位于滑座和光强检测机构之间的底板设有水平发散角检测机构,水平发散角检测机构的检测端设有第一光电传感器、并绕竖直轴心线进行摆动检测,位于第一安装座一端的底板设有竖直发散角检测机构,竖直发散角检测机构的检测端设有第二光电传感器、并绕水平轴心线进行摆动检测。实现了在同一台设备上完成光强、水平和竖直发散角的检测,无需多次定位和移动,简化了检测流程,减少了检测时间,提高了检测效率和检测精度。
技术领域
本实用新型属于bar检测技术领域,尤其涉及一种激光芯片光电性能检测装置。
背景技术
bar条是一种其上含多个裸的半导体激光芯片、且有序排列的长条状件,在其封装成器件之前需进行多种技术参数的检测,如:电气特性、波长特性、发光特性等,其中发光特性包括光强和发散角(水平发散角和竖直发散角)参数的检测。目前,对于光强和发散角特性的检测是在多台设备上分别进行的,故需要对bar条进行转移、且在每道测试工序前均需要对bar条进行定位,检测流程复杂、花费时间长,严重影响了检测效率,同时,检测精度得不到保证。
实用新型内容
本实用新型提供了一种激光芯片光电性能检测装置,以达到提高检测效率和检测精度的目的。
为解决上述技术问题,本实用新型的技术方案是:一种激光芯片光电性能检测装置,包括底板,所述底板上设有第一安装座,所述第一安装座上滑动安装有第一动力装置驱动的滑座,所述滑座上设有检测台;所述底板上还滑动安装有光强检测机构,所述光强检测机构的滑动方向与所述滑座的滑动方向垂直设置;
位于所述滑座和所述光强检测机构之间的所述底板设有水平发散角检测机构,所述水平发散角检测机构的检测端设有第一光电传感器、并绕竖直轴心线进行摆动检测,位于所述第一安装座一端的所述底板设有竖直发散角检测机构,所述竖直发散角检测机构的检测端设有第二光电传感器、并绕水平轴心线进行摆动检测。
作为一种改进,所述光强检测机构包括设置于所述底板上的第二安装座,所述第二安装座上设有第二动力装置驱动的支撑座,所述支撑座上设有光强传感器。
作为进一步的改进,所述水平发散角检测机构包括设置于所述底板上第一固定座,所述第一固定座上绕竖向的轴心线旋转设置有第一旋转驱动件,所述第一旋转驱动件的驱动端设有第一连杆,所述第一连杆上设有第一摆杆,所述第一摆杆与所述第一连杆垂直设置、且与所述第一旋转驱动件的轴心线平行设置,所述第一摆杆上设有所述第一光电传感器。
作为再进一步的改进,所述竖直发散角检测机构包括设置于所述底板上第二固定座,所述第二固定座上绕水平轴心线旋转设置有第二旋转驱动件,所述第二旋转驱动件的驱动端设有第二连杆,所述第二连杆上设有第二摆杆,所述第二摆杆与所述第二连杆垂直设置、且与所述第二旋转驱动件的轴心线平行设置,所述第二摆杆上设有所述第二光电传感器。
作为更进一步的改进,所述第一固定座和所述第二固定座上均设有两个第一位移开关,两所述第一位移开关的相位角小于180度;与所述第一位移开关对应位置的所述第一连杆和所述第二连杆上均设有第一位置识别块。
作为又进一步的改进,所述滑座和所述支撑座上均设有第二位置识别块,所述第一安装座和所述第二安装座的两端均设有与所述第二位置识别块配合的第二位移开关。
采用了上述技术方案后,本实用新型的效果是:
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