[实用新型]一种电子束蒸发台用行星盘结构

权利要求书

1.一种电子束蒸发台用行星盘结构，其特征在于：它包含支架(1)、支撑臂(2)、一号转轴(3)、行星盘(4)、转轮(5)、二号转轴(7)；所述的支架(1)的上侧设有数个一号螺孔(1-1)，支架(1)的外壁上固定有数个支撑臂(2)，支撑臂(2)的下侧活动穿设有一号转轴(3)；所述的一号转轴(3)的前端穿过行星盘(4)后，与限位螺母(3-1)过盈设置，行星盘(4)设于支撑臂(2)的内侧，限位螺母(3-1)设于行星盘(4)的内侧；所述的行星盘(4)上设有数个硅片通孔(4-1)；所述的一号转轴(3)的后端穿过转轮(5)后，与限位轮(6)过盈设置，转轮(5)设于支撑臂(2)的外侧，限位轮(6)设于转轮(5)的外侧；所述的支架(1)的下侧设有二号转轴(7)，二号转轴(7)固定于外部的电子束蒸发台内，二号转轴(7)的上侧设有滑槽(7-1)，转轮(5)的下侧滑动卡设于滑槽(7-1)内。

2.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发台用行星盘结构，其特征在于：所述的二号转轴(7)上设有数个二号螺孔(7-2)，二号螺孔(7-2)设于滑槽(7-1)的外侧。

3.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发台用行星盘结构，其特征在于：所述的硅片通孔(4-1)内设有承片卡圈(4-1-1)。

4.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发台用行星盘结构，其特征在于：所述的支架(1)上设有数个三号螺孔(1-2)，三号螺孔(1-2)设于一号螺孔(1-1)的内侧。

5.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发台用行星盘结构，其特征在于：所述的行星盘(4)为伞状结构。

6.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发台用行星盘结构，其特征在于：所述的硅片通孔(4-1)的数量为5个。