[实用新型]一种真空镀膜机工件治具转舱机械手

权利要求书

1.一种真空镀膜机工件治具转舱机械手，所述工件治具设置有位于治具上端面的上插杆和位于治具下端面下插杆，其特征在于，

包括用于夹持所述治具的夹持机构，以及分别控制所述夹持机构伸缩、升降的伸缩机构、升降机构，以及控制所述夹持机构转舱的旋转机构和平移机构，其中：

所述夹持机构，包括支撑板和爪手，所述爪手包括设置于所述支撑板顶端的、且用于夹持所述上插杆的上爪手，和设置于所述支撑板底端的、用于夹持所述下插杆的、且平行于所述上爪手的下爪手；上爪手和下爪手的前端均开有卡口，用于卡住夹持冶具上、下插杆；

所述伸缩机构，包括平行于水平面的横向气缸，用于固定所述横向气缸的横向气缸固定座，设置于所述横向气缸固定座之上、下端并与所述爪手同方向延伸的横轨固定板，设置于所述横轨固定板面向所述爪手的一侧的横轨，用于连接所述横轨和爪手的横轨滑块，所述横向气缸的横向活塞推杆末端与所述支撑板固定连接；

所述升降机构，包括主框架固定座，固定于所述主框架固定座的主框架设置于主框架固定座上端面的纵向气缸固定座，设置于所述纵向气缸固定座上端面的纵向气缸，设置于所述主框架内侧壁上的纵轨，用于连接所述纵轨与所述伸缩机构上的纵轨滑块，所述纵向气缸的纵向活塞推杆竖直向上延伸，所述纵向活塞推杆的末端与所述伸缩机构的底部固定连接；

所述旋转机构，包括设置于所述主框架固定座下方的移动底板，用于连接主框架固定座与所述移动底板的交叉滚子轴承，设置于移动底板下端面的转动装置，所述转动装置的转轴贯穿移动底板与主框架固定座固定连接，使主框架固定座能随转轴的转动而旋转；

所述平移机构，包括设置于所述移动底板下端面的一对平移导轨，设置于所述平移导轨外侧的滑台固定板，固定于所述滑台固定板上且平行于平移导轨的滑台组件，用于连接移动底板和滑台固定板的连接块。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜机工件治具转舱机械手，其特征在于：所述支撑板为T型板，所述T型支撑板的腹板朝向与所述上爪手、下爪手的延伸方向相同，且位于上爪手、下爪手延伸方向的中轴线上。

3.根据权利要求2所述的真空镀膜机工件治具转舱机械手，其特征在于：所述横向气缸的横向活塞推杆末端与所述支撑板通过螺栓固定连接，支撑板的腹板于螺栓所在位置开挖一用于容纳螺栓头部的缺口。

4.根据权利要求1-3任一所述的真空镀膜机工件治具转舱机械手，其特征在于：所述横轨固定板为两块，分别设置于所述横向气缸固定座的顶部和底部，分别为上横轨固定板和下横轨固定板，所述横轨固定板于所述支撑板的两侧所在方向的横轨固定板的侧壁上均设置有用于与所述纵轨滑块相连接的竖板，于所述的上横轨固定板和下横轨固定板朝上、下爪手方向端的侧壁开挖一个用于允许上、下插杆通过的凹槽；所述横轨包括设置于所述上横轨固定板下端面的上横轨，以及设置于所述下横轨固定板上端面的下横轨；所述横轨滑块包括用于连接上横轨和所述上爪手的上横轨滑块，以及用于连接下横轨和所述下爪手的下横轨滑块。

5.根据权利要求4所述的真空镀膜机工件治具转舱机械手，其特征在于：所述主框架固定座的上端面中心处开挖一台阶式通孔，所述转轴与主框架固定座通过一连接座进行固定连接，所述连接座为其上端两侧带有凸肩的套筒，所述连接座套接转轴后通过平键相连接，所述凸肩与所述台阶式通孔的台阶相对应，并在所述台阶处通过紧固螺栓实现连接座与主框架固定座的连接。

6.根据权利要求5所述的真空镀膜机工件治具转舱机械手，其特征在于：所述主框架包括位于所述支撑板两侧的侧板，位于两所述侧板顶端且连接两侧板的顶板，至少一块位于所述横向气缸所在一侧的用于连接两侧板的连接板，所述侧板、顶板和连接板均开有至少一个圆孔。