[实用新型]一种晶圆盒传输机构有效

申请号：	202021007239.9	申请日：	2020-06-04
公开（公告）号：	CN211929456U	公开（公告）日：	2020-11-13
发明（设计）人：	钱诚;李刚;童建	申请（专利权）人：	无锡亚电智能装备有限公司
主分类号：	H01L21/677	分类号：	H01L21/677
代理公司：	暂无信息	代理人：	暂无信息
地址：	214000 江苏省无锡***	国省代码：	江苏;32
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摘要：
搜索关键词：	一种晶圆盒传输机构
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【说明书】：

本申请涉及一种晶圆盒传输机构，成对的长方形框架结构的抓取架能够在旋转驱动件的转动下向相反方向转动，并能够抵靠住晶圆盒的侧边凸缘，抓取架由通过紧固螺母固定在支撑架上的伸入U形的支撑架内的U形抓取杆组成，U形抓取杆可以根据实际需要使用的清洗液的情况更换U形抓取杆，从而使U形抓取杆能够与清洗液形成配合关系，使U形抓取杆能够使用不同酸碱性的清洗液。

技术领域

本申请属于晶圆清洗设备技术领域，尤其是涉及一种晶圆盒传输机构。

背景技术

晶圆盒传输机构，顾名思义，就是传输晶圆盒的设备，晶圆通常以一定数量存放到晶圆盒中，然后由晶圆盒传输机构将晶圆盒连通晶圆送入各种清洗设备中。

中国专利文献CN 208014665 U公开了一种晶圆输送装置，其包含一支架、一第一输送单元、一第二输送单元及一夹取单元，第一输送单元设于支架并包含一第一驱动器，第二输送单元设于第一输送单元并包含一第二驱动器，夹取单元设于第二输送单元并包含一升降器及二抓取臂，该晶圆输送装置分别以所述第一驱动器及所述第二驱动器驱动径向移动，及升降器做上下升降的提取及放置动作，及二抓取臂以滑动方式抓取晶圆盒，以简单的结构达到方便维护及维修的功效，而升降器升降提取及放置。但是该晶圆输送装置再将晶圆盒送入清洗设备中时，抓取臂比如会部分浸入清洗设备的清洗液中，而有些清洗液具有腐蚀性，该晶圆输送装置中的抓取臂在不同的清洗设备时，就需要直接更换掉整个抓取臂。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种晶圆盒传输机构。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种晶圆盒传输机构，包括：

水平安装架，所述水平安装架上设置有水平滑轨；

机械手组件，包括设置在水平滑轨上的水平滑动座，所述水平滑动座上安装有竖直滑轨，所述竖直滑轨上设置有竖直滑动座；

所述竖直滑动座上设置有两个平行的水平布置的转动轴，所述转动轴上分别设置有抓取架，抓取架包括U形的支撑架，通过紧固螺母固定在支撑架上的伸入U形的支撑架内的U形抓取杆，抓取杆与支撑架形成长方形框架结构；

水平驱动件驱动水平滑动座在水平滑轨上运动；

升降驱动件驱动竖直滑动座在竖直滑轨上运动；

旋转驱动件驱动两个平行的水平布置的转动轴向相反方向转动。

优选地，本实用新型的晶圆盒传输机构，

U形抓取杆的两根侧杆伸入中空的U形的支撑架的侧杆内，通过调节伸入量能够调节U形抓取杆262的露出长度。