[实用新型]一种半导体测序装置

权利要求书

1.一种半导体测序装置，其特征在于，包括：

汇流块(10)，其上设置有第一进液口(11)和第一出液口(12)；

芯片组件(20)，包括芯片(21)和压设于所述芯片(21)上的压块(22)，所述压块(22)上设置进液通道(a)和出液通道(b)；

驱动机构(30)，其输出端连接所述汇流块(10)，所述驱动机构(30)用于驱动所述汇流块(10)靠近所述芯片组件(20)，直至压紧所述压块(22)，以使所述汇流块(10)的所述第一出液口(12)和所述压块(22)的所述进液通道(a)相连通、所述汇流块(10)的所述第一进液口(11)与所述压块(22)的所述出液通道(b)相连通，进而液体能够在所述芯片(21)与所述汇流块(10)之间流动；

所述第一进液口(11)与所述出液通道(b)之间、所述第一出液口(12)与所述进液通道(a)之间各设置一个第一密封件(40)。

2.根据权利要求1所述的半导体测序装置，其特征在于，所述压块(22)上设置两个第一密封槽(2231)，两个所述第一密封件(40)各设于一个所述第一密封槽(2231)内；

所述进液通道(a)和所述出液通道(b)均贯穿所述压块(22)以在相应的所述第一密封槽(2231)的槽底形成第二进液口(221)和第二出液口(222)。

3.根据权利要求1所述的半导体测序装置，其特征在于，所述驱动机构(30)包括机架(31)、设于所述机架(31)上驱动电机(32)和丝杆螺母副；所述丝杆螺母副的丝杆(33)连接于所述驱动电机(32)的输出端，所述丝杆螺母副的螺母(34)与所述汇流块(10)通过第一连接架(35)连接。

4.根据权利要求3所述的半导体测序装置，其特征在于，所述半导体测序装置还包括位置检测机构，所述位置检测机构包括对射式光电开关(314)和遮光板(351)，所述对射式光电开关(314)和所述遮光板(351)的其中一个设置在所述机架(31)上，另一个设置在所述第一连接架(35)上，所述遮光板(351)相对运动至所述对射式光电开关(314)的发射端和接收端之间时，触发所述对射式光电开关(314)产生信号。

5.根据权利要求3所述的半导体测序装置，其特征在于，所述半导体测序装置还包括导向机构，所述导向机构包括设于所述机架(31)上的导向孔(311)和设于所述汇流块(10)上的导向杆(15)，所述导向杆(15)滑动设于所述导向孔(311)中，所述导向孔(311)和所述导向杆(15)的轴线方向均与所述驱动机构(30)的驱动方向一致。

6.根据权利要求5所述的半导体测序装置，其特征在于，所述导向杆(15)与所述导向孔(311)之间通过轴承结构(312)连接，所述轴承结构(312)包括设于所述导向孔(311)内的轴承座(3121)和设于所述轴承座(3121)内的轴承(3122)，所述导向杆(15)由上至下穿过所述轴承(3122)。

7.根据权利要求6所述的半导体测序装置，其特征在于，所述导向杆(15)的顶部设置限位板(151)，所述限位板(151)能够与所述轴承座(3121)相抵接，进而限制所述导向杆(15)的位移。

8.根据权利要求1所述的半导体测序装置，其特征在于，所述芯片组件(20)还包括芯片座(23)，所述芯片座(23)上依次连通的第一凹槽(231)和第二凹槽(232)，所述芯片(21)设于所述第二凹槽(232)内；所述芯片(21)与所述压块(22)之间设置第二密封件(25)；

所述压块(22)包括压块主体(223)和凸出所述压块主体(223)设置的延伸体(224)，所述压块主体(223)位于所述第一凹槽(231)内，所述延伸体(224)至伸入至所述第二凹槽(232)内；所述延伸体(224)的底面上设置第二密封槽(2241)，所述第二密封件(25)设于所述第二密封槽(2241)内。