[实用新型]电子元件真空环境模拟测试装置

权利要求书

1.一种电子元件真空环境模拟测试装置，其特征在于，包括：电气安装箱、用于放置待检测电子元件的密封腔体、用于对所述待检测电子元件进行检测的检测机构、用于调节所述密封腔体内压强的真空泵箱；其中，所述密封腔体和所述检测机构安装于所述电子安装箱上，所述密封腔体至少一面为玻璃门。

2.根据权利要求1所述的电子元件真空环境模拟测试装置，其特征在于，所述密封腔体为四方体结构，所述密封腔体的上部为铝质密封门，所述密封腔体的底部和两侧均为玻璃门，所述铝质密封门和玻璃门围绕成用于放置所述待检测电子元件的主腔体。

3.根据权利要求2所述的电子元件真空环境模拟测试装置，其特征在于，所述密封腔体的两端分别安装有第一真空计和第二真空计。

4.根据权利要求2所述的电子元件真空环境模拟测试装置，其特征在于，所述电气安装箱上安装有安装支架，所述密封腔体安装于所述安装支架上。

5.根据权利要求4所述的电子元件真空环境模拟测试装置，其特征在于，所述安装支架包括安装于所述电气安装箱两侧的支撑板和安装于所述支撑板上的安装座，所述电气安装箱安装于所述安装座上，所述安装座的中间挖空。

6.根据权利要求5所述的电子元件真空环境模拟测试装置，其特征在于，所述检测机构包括用于对所述待检测电子元件进行拍照检测的三组视觉相机、用于驱动所述三组视觉相机运动的相机运动模组，所述三组视觉相机分别对应所述密封腔体的底部和两侧安装于所述电气安装箱上，以通过对应的玻璃门对所述密封腔体内的待检测电子元件进行拍照检测。

7.根据权利要求6所述的电子元件真空环境模拟测试装置，其特征在于，所述相机运动模组包括安装于所述电气安装箱上的直线模组、安装于所述直线模组上的相机安装组件、安装于所述相机安装组件上的直线导轨，所述三组视觉相机安装于所述直线导轨上，所述直线模组内安装有用于驱动所述相机安装组件运动，以带动对应的视觉相机运动的伺服马达。

8.根据权利要求1所述的电子元件真空环境模拟测试装置，其特征在于，所述电气安装箱包括主箱体，安装于所述主箱体内的电气安装抽屉、第一散热风扇，所述主箱体的上端安装有零件安装面板。

9.根据权利要求8所述的电子元件真空环境模拟测试装置，其特征在于，所述主箱体的一侧安装有把手。

10.根据权利要求1所述的电子元件真空环境模拟测试装置，其特征在于，所述真空泵箱包括真空泵安装箱体，所述真空泵安装箱体内设置有第二散热风扇，所述真空泵安装箱体的正面设置有开关门，所述真空泵安装箱体的底部设置有减震脚。