[实用新型]一种循环加热装置

说明书

本实用新型公开了一种循环加热装置，属于蓝宝石抛光技术领域，包括加热桶，所述加热桶底部设有加热控温装置，所述加热桶内嵌入有循环桶，所述循环桶设有供液管，所述供液管连有防水循环泵。本实用新型实现了蓝宝石加工过程中，对抛光液自动加热控温，节省了人力，提高了工作效率，控温更加精准，有利于维持化学与机械抛光的平衡点。

技术领域

本实用新型属于蓝宝石抛光技术领域，尤其涉及一种循环加热装置。

背景技术

蓝宝石抛光过程中，主要是化学机械抛光(CMP)，化学机械抛光过程是机械和化学作用相平衡的过程，通过抛光液与被抛光物接触并发生反应，产生腐蚀层，与此同时机械摩擦将腐蚀层摩擦去除，化学作用与机械作用同步进行，从而实现蓝宝石的抛光。

蓝宝石抛光效果好坏，与抛光液温度控制密切相关。抛光过程中，抛光盘与蓝宝石摩擦生热，抛光液温度控制不好，容易造成抛光缺陷，或者抛光时间过长，无法达到理想状态。这主要原因是没有充分达到化学与机械抛光的平衡点，为了解决这种问题，需要控制抛光液的温度。现有技术，在抛光过程中，抛光液加热装置往往为人工水浴加热或者加热器直接放入抛光液内进行加热。人工水浴的方法占用空间大，温度控制准确度差，费时费力，影响抛光效果；而加热器直接放入抛光液内，这样会破坏抛光液的化学成分，易造成抛光液的快速失效。

实用新型内容

本实用新型为了解决现有技术抛光液加热温度控制准确度差、占用空间大，采用人工的方式费时费力的技术问题，提供了一种自动化的循环加热装置。

本实用新型提供的技术方案如下：

一种循环加热装置，其特征在于，包括加热桶，所述加热桶底部设有加热控温装置，所述加热桶内嵌入有循环桶，所述循环桶设有供液管，所述供液管连有防水循环泵。在防水循环泵的作用下，抽取抛光液供抛光使用。

优选的，所述加热控温装置包括陶瓷加热器、温度传感器和温度调节器，所述陶瓷加热器与温度传感器分别与温度调节器电连接。根据温度调节器设定的温度，通过陶瓷加热器给循环桶内的抛光液加热，根据温度传感器传递的温度信号，判断是否停止加热。

优选的，所述循环桶内设有磁铁。用于吸附抛光过程产生的铁金属材料，便于络合物的收集，降低对加工表面的损伤。

优选的，所述防水循环泵设置在所述循环桶的内壁。增加了装置的美观性，更加的简单小巧。

优选的，所述防水循环泵设置在所述循环桶的外壁。增加安全性，便于检修。

优选的，所述循环桶上设有桶盖，所述桶盖上设有回收口，所述回收口下方包裹有滤网。设置桶盖防止杂物落入循环桶内，污染抛光液，造成抛光划痕；回收口用于回收抛光过程产生的废液，废液经滤网过滤，将反应过程中产生的大的颗粒物过滤掉，以防污染循环桶内的抛光液。

优选的，所述桶盖上设有搅拌机，所述搅拌机的搅拌杆设在所述循环桶的内部。搅拌机用于对循环桶内的抛光液进行低速搅拌，防止有效成分产生沉淀。

优选的，所述搅拌杆底端距离所述循环桶底部之间的距离为10～20cm。防止搅拌杆与底部距离过近，在搅拌的过程中将循环桶底部较大的颗粒带起，进而进入抛光盘中，导致抛光划痕。

通过采用以上技术手段，达到技术效果如下：

(1)本实用新型将循环桶置于加热桶，一方面实现了抛光液自动化加热，节省人力，提高效率，且控温更加的精准，促进化学与机械的平衡，从而提高抛光效率和降低抛光缺陷；另一方面加热桶还可对循环桶进行保温，防止热量流失，节约能源。

(2)循环桶通过设置磁铁，达到吸附抛光液内铁金属物质，便于络合物的收集，净化抛光液，防止抛光划痕，提高抛光液的循环利用效率。