[实用新型]一种石墨舟震舟装置有效
| 申请号: | 202020991200.9 | 申请日: | 2020-06-03 |
| 公开(公告)号: | CN212375377U | 公开(公告)日: | 2021-01-19 |
| 发明(设计)人: | 包君坚;刘祖利;王建;周芳超 | 申请(专利权)人: | 横店集团东磁股份有限公司 |
| 主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;C23C16/50 |
| 代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
| 地址: | 322118 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 石墨 舟震舟 装置 | ||
本实用新型公开了一种石墨舟震舟装置,属于光伏制造技术领域,该石墨舟震舟装置位于石墨舟上方,包括:支撑结构;驱动结构,设置于支撑结构;连接结构,包括连接架及能够转动地设置于连接架上的滚轴,滚轴的外周上设置有缓冲层,驱动结构被配置为能够带动连接架上升或下降,以使滚轴与石墨舟分离或接触;震动器,设置于滚轴或连接架,震动器的震动频率可调。通过设置驱动结构、连接架、滚轴和震动器,驱动结构驱动连接架上升或下降,震动器带动滚轴振动,且滚轴在振动的同时能够转动,不仅能够有效地传递震动到石墨舟,对硅片进行整理,提高生产效率,而且滚轴与石墨舟的接触面积小,能够有效地的降低石墨舟和滚轴之间的磨损。
技术领域
本实用新型涉及光伏制造技术领域,尤其涉及一种石墨舟震舟装置。
背景技术
随着科技的进步,我国已成为全世界最大的光伏制造及光伏应用国。光伏制造涉及多种装置和设备,其中,石墨舟是太阳能电池片镀减反射膜时的一种载体,它可以把我们需要定位或定型的原材料和零部件一起放置于石墨舟中高温烧结成型。现有的石墨舟包括:石墨舟片、陶瓷套、陶瓷杆、石墨杆、湿膜隔块等石墨配件。其工作原理为:将未镀膜的硅片放在石墨舟的卡点上,每个舟片上可放置固定数量的硅片,然后,将石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备的腔体内,采用PECVD工艺进行放电镀膜。镀膜结束后,将硅片从石墨舟上卸取下来。
但是,在将硅片放在石墨舟的卡点上时,硅片会存在不同程度的翘曲或者插不到位的情况,因此需要人工进行拍舟并进行检查,劳动强度大,且生产效率低。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种石墨舟震舟装置,以解决现有技术中存在的采用人工进行拍舟并进行检查,劳动强度大,且生产效率低的问题。
如上构思,本实用新型所采用的技术方案是:
一种石墨舟震舟装置,位于石墨舟上方,所述石墨舟震舟装置包括:
支撑结构;
驱动结构,设置于所述支撑结构;
连接结构,包括连接架及能够转动地设置于所述连接架上的滚轴,所述滚轴的外周上设置有缓冲层,所述驱动结构被配置为能够带动所述连接架上升或下降,以使所述滚轴与所述石墨舟分离或接触;
震动器,设置于所述滚轴或所述连接架,所述震动器的震动频率可调。
进一步地,所述连接架包括第一连接板和两个相对设置于所述第一连接板上的第二连接板,所述滚轴能够转动地设置于两个所述第二连接板之间,所述震动器设置于所述第一连接板,所述第一连接板连接于所述驱动结构。
进一步地,所述石墨舟震舟装置还包括检测感应器,所述检测感应器设置于所述连接架,所述检测感应器被配置为检测所述连接架下方是否具有所述石墨舟。
进一步地,所述驱动结构为气缸,所述连接结构还包括设置于所述连接架上的连接块,所述驱动结构为气缸,所述气缸的气缸杆滑动地穿设于所述连接块,所述气缸杆靠近所述连接架的一端设有限位件,所述限位件能与所述连接块抵接,以阻止所述气缸杆与所述连接块分离;
所述石墨舟震舟装置还包括锁紧结构,所述锁紧结构被配置为能够将所述气缸杆和所述连接块的相互位置锁定或解锁。
进一步地,所述气缸杆上套设有弹性件,所述弹性件的两端分别与所述限位件所述连接块抵接。
进一步地,所述锁紧结构包括两个锁紧件,两个锁紧件分别为第一锁紧件和第二锁紧件,所述第一锁紧件固设于所述连接块,所述第二锁紧件能滑动设置于所述连接块以具有夹紧位置和解锁位置,当所述第二锁紧件位于所述夹紧位置时,所述第二锁紧件和所述第一锁紧件将所述气缸杆夹紧;当所述第二锁紧件位于所述解锁位置时,所述第二锁紧件与所述气缸杆分离。·
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的





