[实用新型]一种高密度样品分析的磁分析系统

权利要求书

1.一种用于高密度样品分析的磁分析系统，其特征在于，包括铯溅射器、铯溅射靶、引出和聚焦电极、加速电极、磁偏转质量分析器、自由漂移区、微通道板探测器与数据采集卡；

所述铯溅射器与铯溅射靶相连；样品放置在溅射靶区，所述引出和聚焦电极紧连铯溅射器部分，加速电极位于引出和聚焦电极后面，所述磁偏转质量分析器与电离靶室相连，所述自由漂移区设置在磁偏转质量分析器和微通道板探测器之间，所述微通道板探测器与数据采集卡相连，所述数据采集卡与计算机相连。

2.如权利要求1所述的用于高密度样品分析的磁分析系统，其特征在于，所述磁偏转质量分析器内的真空度小于10^-8Pa；所述自由漂移区的真空度小于10^-4Pa，微通道板探测器工作真空为小于10^-4Pa。

3.如权利要求1所述的用于高密度样品分析的磁分析系统，其特征在于，所述磁偏转质量分析器的偏转磁铁为45°偏转磁铁。

4.如权利要求1所述的用于高密度样品分析的磁分析系统，其特征在于，所述铯溅射靶部分，将制备好的样品粉末压入靶槽中，形成靶块。

5.如权利要求4所述的用于高密度样品分析的磁分析系统，其特征在于，所述靶块的制作中，镶嵌在靶座中的靶块刚好可以和靶槽的口面相平或者中间略有凹陷，并在中间打一个小孔，满足工作后能形成自聚焦输出状态，达到出束要求。

6.如权利要求1所述的用于高密度样品分析的磁分析系统，其特征在于，所述微通道板探测器是一种大面阵的高空间分辨的电子倍增探测器。

7.如权利要求1所述的用于高密度样品分析的磁分析系统，其特征在于，所述数据采集卡为ADQ412高速数据采集卡。