[实用新型]喷淋式滤酸水淋装置及喷淋式滤酸水淋系统

权利要求书

1.一种喷淋式滤酸水淋装置，其特征在于，包括：箱体(1)、进风管道(2)、排风管道(3)和喷淋件(4)；

所述箱体(1)的空腔内设置有分隔板(12)，将所述空腔分隔为进风腔(111)和排风腔(112)，所述分隔板(12)与所述箱体(1)的底壁(131)之间存在间隙(14)，所述进风腔(111)和所述排风腔(112)通过所述间隙(14)连通；

所述进风管道(2)通过所述箱体(1)的第一侧壁(133)上开设的进风口(1331)与所述进风腔(111)连通，所述排风管道(3)通过所述箱体(1)的第二侧壁(134)上开设的排风口(1341)与所述排风腔(112)连通；其中，所述第一侧壁(133)与所述第二侧壁(134)相对；

所述喷淋件(4)从所述箱体(1)的顶壁(132)伸入所述进风腔(111)并位于所述进风口(1331)和所述底壁(131)之间。

2.根据权利要求1所述的喷淋式滤酸水淋装置，其特征在于，还包括排水管道(5)，所述排水管道(5)通过开设于所述底壁(131)的排水口(1311)与所述空腔连通。

3.根据权利要求1所述的喷淋式滤酸水淋装置，其特征在于，所述喷淋件(4)包括连接管道(41)和喷淋管道(42)；

所述连接管道(41)从所述箱体(1)的顶壁(132)伸入所述进风腔(111)；

所述喷淋管道(42)设置于所述进风腔(111)内，并与所述连接管道(41)连通，所述喷淋管道(42)位于所述进风口(1331)和所述底壁(131)之间；

每个所述喷淋管道(42)设置有多个间隔分布的喷嘴(421)。

4.根据权利要求3所述的喷淋式滤酸水淋装置，其特征在于，所述喷淋件(4)为两个；

两个喷淋管道(42)互相平行，所述两个喷淋管道(42)上的喷嘴(421)通过喷洒水雾以在所述进风口(1331)的下方形成交汇的水雾。

5.根据权利要求3所述的喷淋式滤酸水淋装置，其特征在于，所述喷嘴(421)与所述喷淋管道(42)可拆卸式连接。

6.根据权利要求1所述的喷淋式滤酸水淋装置，其特征在于，所述分隔板(12)固定于所述顶壁(132)，并朝所述底壁(131)的方向延伸，以将所述空腔分隔为所述进风腔(111)和所述排风腔(112)两部分。

7.根据权利要求1所述的喷淋式滤酸水淋装置，其特征在于，所述排风口(1341)设置有用于对排向所述排风管道(3)内的水雾进行过滤的过滤件(1342)。

8.根据权利要求1所述的喷淋式滤酸水淋装置，其特征在于，还包括用于控制所述喷淋件(4)喷洒水雾的阀门(6)，所述阀门(6)安装于所述喷淋件(4)位于所述箱体(1)外部的位置处。

9.根据权利要求1所述的喷淋式滤酸水淋装置，其特征在于，所述排风管道(3)远离所述箱体(1)的一端设置有用于通过所述排风管道(3)对所述排风腔(112)中的空气进行抽取的风机。

10.一种喷淋式滤酸水淋系统，其特征在于，包括芯片刻蚀清洗机以及上述权利要求1-9任一项所述的喷淋式滤酸水淋装置(100)；

所述喷淋式滤酸水淋装置(100)与所述芯片刻蚀清洗机所在的清洗室连通，所述喷淋式滤酸水淋装置(100)用于对所述芯片刻蚀清洗机在所述清洗室内对芯片进行腐蚀清洗时产生的酸气进行过滤。