[实用新型]一种退火炉冷却装置

说明书

本实用新型公开了一种退火炉冷却装置，包括箱体；所述放置腔开设于所述退货箱的内部，所述U形空腔开设于所述退货箱的内部，所述冷却箱开设于所述U形空腔的两侧，两个所述散热扇均固定安装于U形空腔内壁的顶部两侧，两个水箱均固定安装于所述箱体的两侧，所述冷却装置固定安装于所述水箱的顶部，本实用新型涉及退火炉设备技术领域。该一种退火炉冷却装置，通过使用两个散热扇能够将外界的气体带入箱体的内部能够对放置腔进行降温，能够替代原始的静置的方法，能够提高货物降温的速度，使用冷却装置能够方便对放置腔内部的散热后的热气进行降温，能够防止箱体内的温度升高导致放置腔的货物无法进行有降温，也会导致箱体内部的热气无法排除。

技术领域

本实用新型涉及退火炉设备技术领域，具体为一种退火炉冷却装置。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

在现有退火炉的退火降温需要，一般采用静置冷却处理，需人工从退火炉将工件拿出放在静置架上，待冷却后再放入下道工序，如此工序繁琐，而且效率低下。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种退火炉冷却装置，解决了现有的静置冷却处理，需人工从退火炉将工件拿出放在静置架上，进行待冷却的问题。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种退火炉冷却装置，包括箱体；

放置腔，所述放置腔开设于所述退货箱的内部；

U形空腔，所述U形空腔开设于所述退货箱的内部且位于所述放置腔的内部；

冷却箱，所述冷却箱开设于所述U形空腔的两侧且位于所述箱体的内部和所述放置腔的两侧；

两个散热扇，两个所述散热扇均固定安装于所述U形空腔内壁的顶部两侧且位于所述放置腔的顶部；

两个水箱，两个所述水箱均固定安装于所述箱体的两侧；

冷却装置，所述冷却装置固定安装于所述水箱的顶部，所述冷却装置包括抽水泵，所述抽水泵输出端连通有连接管，所述连接管的一端连通有二通管，所述二通管的一侧连通有输水管，所述输水管的一端贯穿所述冷却箱的顶部且延伸至所述冷却箱的内部，所述输水管的一端连通有四通管，所述四通管的两侧均连通有冷却管。

进一步地，所述抽水泵的一侧与所述水箱顶部的中间固定连接，所述抽水泵输入端连通有进水管，所述进水管的一端贯穿所述水箱的顶部且延伸至所述水箱的内部，两个所述冷却管的一端与所述冷却箱内部的两侧固定连接。

进一步地，所述冷却箱内壁底部的二通管的一端连通有出水管，所述出水管的一端贯穿所述冷却箱内壁的一侧且延伸至所述水箱的内部，所述冷却箱的顶部且位于所述输水管的两侧设置有第一散热网。

进一步地，所述放置腔内壁的底部两侧均开设有出气管，所述出气管的一端贯穿所述冷却箱的外侧且延伸至所述冷却箱的内部，所述出气管的一端固定安装有第一防尘网。

使用第一尘网和第二防尘网能够防止外界的灰尘和货物产生的灰尘流入冷却箱的内部和放置腔的内部。

进一步地，所述冷却箱的底部两侧均固定安装有支撑杆，两个所述支撑杆的一端与所述U形空腔两侧内壁的底部固定连接。

进一步地，所述放置腔的顶部固定安装有第二散热网，所述箱体的顶部且位于两个所述散热扇的两侧均设置有第二防尘网，两个所述水箱的顶部一侧均连通有注水管。