[实用新型]一种激光载台

权利要求书

1.一种激光载台，包括基板(1)、盖板(2)、吸附平台(3)、立柱(4)、FPC放置台(5)和支撑块(6)，所述盖板(2)通过螺栓安装在基板(1)上，其特征在于：

所述基板(1)的内部设有进气管道(11)，而进气管道(11)呈井字形分布，所述吸附平台(3)通过螺栓安装在基板(1)的中部，而吸附平台(3)与基板(1)构成一个容腔，其中吸附平台(3)上设有针孔(31)，所述立柱(4)设置在基板(1)并围绕吸附平台(3)的三个侧边分布，其中立柱(4)与基板(1)上的进气管道(11)连通。

2.根据权利要求1所述的一种激光载台，其特征在于：所述立柱(4)与吸附平台(3)之间有间隙，基板(1)上设有废屑排出孔(12)，其中废屑排出孔(12)也沿着吸附平台(3)的三个侧边分布，而废屑排出孔(12)位于立柱(4)与吸附平台(3)之间的间隙中央。

3.根据权利要求1所述的一种激光载台，其特征在于：所述立柱(4)上设有通孔(41)，其中立柱(4)上的通孔(41)延伸至进气管道(11)内。

4.根据权利要求1所述的一种激光载台，其特征在于：所述吸附平台(3)的内部为中空结构，而基板(1)与吸附平台(3)接触部分设有密封圈(14)。

5.根据权利要求1所述的一种激光载台，其特征在于：所述基板(1)的中心设有进气孔(13)用于向吸附平台(3)通入气体。

6.根据权利要求1所述的一种激光载台，其特征在于：所述立柱(4)的上端面与吸附平台(3)的上端面平齐。

7.根据权利要求1所述的一种激光载台，其特征在于：所述FPC放置台(5)通过螺栓安装在基板(1)上并位于吸附平台(3)旁未设有立柱(4)的侧边处，两个所述支撑块(6)分别设置在基板(1)上并位于吸附平台(3)的两侧。