[实用新型]手套箱动态反馈混气系统

说明书

本实用新型公开手套箱动态反馈混气系统,包括PLC控制器、在线式气体分析仪、至少两路结构相同的进气组件、手套箱腔体和排气组件，进气组件包括进气管路、气体质量流量控制器和电磁阀；其中，在每路进气组件中：进气管路的首端连通气源，在进气管路上沿气流方向依次设置气体质量流量控制器和电磁阀，进气管路的末端连通手套箱腔体。本实用新型能按一定比例将一种气体混入并维持腔体该气体浓度的设备，通过气体质量流量控制器与多个电磁阀配合，可将该气体快速混入，并保持在设定的该气体浓度范围内，满足产品工艺需求。

技术领域

本实用新型属于气体混配技术领域，具体涉及手套箱动态反馈混气系统。

背景技术

现有的混气系统或混气方法比较粗糙，仅仅是将气体按照比例混合，或是按照比例充入混合气体罐内，这种方法非常费时，同时由于不同气体的气压使充气工作非常难。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种操作简单、精度稳定且能够适应多种气体混配的动态反馈混气系统。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术手段是：

手套箱动态反馈混气系统,包括PLC控制器、在线式气体分析仪、至少两路结构相同的进气组件、手套箱腔体和排气组件，所述进气组件包括进气管路、气体质量流量控制器和电磁阀；

其中，在每路进气组件中：所述进气管路的首端连通气源，在所述进气管路上沿气流方向依次设置所述气体质量流量控制器和所述电磁阀，所述进气管路的末端连通所述手套箱腔体；

所述在线式气体分析仪的进气孔连通所述手套箱腔体，所述在线式气体分析仪的数据处理部件连接所述PLC控制器，所述PLC控制器分别连接两个所述气体质量流量控制器的控制电路，在线式气体分析仪对手套箱腔体内的气体浓度实时监测，PLC控制器根据实时监测的气体浓度信息，分别控制两个气体质量流量控制器对气体进行补充；

所述排气组件包括出气管路和单向阀，所述出气管路连通所述手套箱腔体，所述单向阀安装于所述出气管路上。

优选的，每路进气组件中还连通有恒压阀，所述恒压阀位于所述进气管路上气源和所述气体质量流量控制器之间。

与现有技术相比本实用新型的有益效果在于：

1.本实用新型操作简单，维护便捷；

2.取代原有设备补气功能可按设定要求进行混气；

3.本实用新型能按一定比例将一种气体混入并维持腔体该气体浓度的设备，通过气体质量流量控制器与多个电磁阀配合，可将该气体快速混入，并保持在设定的该气体浓度范围内，满足产品工艺需求。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型使用状态参考图。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。