[实用新型]一种带有V型腔的全固态准三能级228.5nm脉冲激光器

权利要求书

1.一种带有V型腔的全固态准三能级228.5nm脉冲激光器，其特征在于，沿光路方向依次包括：半导体激光器、耦合光学系统、V型腔及非线性晶体；

其中：所述V型腔包括：第一分臂、第二分臂、第一分臂与第二分臂相交处的镜片M；所述第一分臂依次设有激光晶体和声光调Q器；所述第二分臂依次设有镜片M2和LBO倍频晶体；

所述半导体激光器发出泵浦光，经所述耦合光学系统进行整形；入射到激光晶体的M1面产生光谱线；所述光谱线在所述V型腔内得到二倍频脉冲激光；所述二倍频脉冲激光经所述非线性晶体输出获得228.5nm脉冲激光。

2.根据权利要求1所述的一种带有V型腔的全固态准三能级228.5nm脉冲激光器，其特征在于：在所述V型腔与非线性晶体之间，还包括：沿光路依次设置的滤光镜和聚焦镜；

其中，所述滤光镜为平面镜，镀膜：45degHR@457nm，45degAR@914nm1064nm1342nm；

所述聚焦镜为凸透镜，焦距为f＝150mm，镀膜AR@457nm。

3.根据权利要求1所述的一种带有V型腔的全固态准三能级228.5nm脉冲激光器，其特征在于：还包括：设置在所述非线性晶体的光路输出方向的分光棱镜；所述分光棱镜的厚度大于10nm，腰长大于10nm；楔角设计，入射面镀膜AR@228.5nm。

4.根据权利要求1所述的一种带有V型腔的全固态准三能级228.5nm脉冲激光器，其特征在于：所述第一分臂长度L1为65mm～75mm，第二分臂长度L2为30mm～35mm。

5.根据权利要求1所述的一种带有V型腔的全固态准三能级228.5nm脉冲激光器，其特征在于：所述激光晶体为Nd:YVO4、Nd:GdVO4、Nd:YLF或Nd:YAG。

6.根据权利要求1所述的一种带有V型腔的全固态准三能级228.5nm脉冲激光器，其特征在于：所述镜片M材质为石英，直径为12.7mm；

所述镜片M的入光面为凹面或平面，其中凹面的曲率半径为：500mm、200mm、100mm或50mm；

所述镜片M的入光面上镀有介质膜，入光面所镀介质膜的光学参数为:10degHR@914nm,10degAR@1064nm1342nm457nm；出光面所镀介质膜的光学参数为：10degAR@457nm914nm1064nm1342nm。

7.根据权利要求1所述的一种带有V型腔的全固态准三能级228.5nm脉冲激光器，其特征在于：所述镜片M2材质为石英，直径为12.7mm；

所述镜片M2的入光面为凹面或平面，其中凹面的曲率半径为：600mm、300mm或200mm；

所述镜片M2的入光面上镀有介质膜，入光面所镀介质膜的光学参数为:HR@914nm457nm，AR@1064nm1342nm；出光面所镀介质膜的光学参数为：AR@457nm914nm1064nm1342nm。

8.根据权利要求1所述的一种带有V型腔的全固态准三能级228.5nm脉冲激光器，其特征在于：所述LBO倍频晶体尺寸为4*4*15mm³，相位匹配角所述LBO倍频晶体的两个端面均镀有介质膜，且两个端面所镀介质膜的光学参数均为：AR@457nm914nm1064nm。

9.根据权利要求1所述的一种带有V型腔的全固态准三能级228.5nm脉冲激光器，其特征在于：所述非线性晶体为BBO倍频晶体，尺寸4*4*10mm³；

相位匹配角θ_pm＝61.4°，方位角φ＝0°；所述BBO倍频晶体的两个端面均镀有介质膜，且两个端面所镀介质膜的光学参数均为：AR@228nm457nm。