[实用新型]一种自适应浮动载物装置

说明书

本实用新型公开了一种自适应浮动载物装置，包括用于载物的浮动台、设于所述浮动台的下部用于调整浮动台位置的浮动件和用于锁紧所述浮动件实现对浮动件定位的锁紧组件，所述浮动台与所述浮动件固定连接。该装置能够通过浮动件对浮动台的位置进行调整，实现浮动台适应晶棒端面，浮动件通过锁紧组件锁紧并定位，实现浮动台位置的固定，从而满足晶棒检晶线和检测同轴度的需求。

技术领域

本实用新型涉及晶硅加工设备技术领域，特别是涉及一种自适应浮动载物装置。

背景技术

现有光伏开方设备，部分采用立式开方，立式开方时需要将晶棒竖直放置到定位台上，然后通过旋转来实现对晶棒晶线和同轴度的检测。但是因为晶棒端面相对轴向不垂直，如果将晶棒放置在固定平面上会导致晶棒倾斜，同轴度不合格，从而导致无法上料加工。

针对上述问题，特提出本实用新型。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种自适应浮动载物装置，该装置能够通过浮动件对浮动台的位置进行调整，实现浮动台适应晶棒端面，浮动件通过锁紧组件锁紧并定位，实现浮动台位置的固定，从而满足晶棒检晶线和检测同轴度的需求。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种自适应浮动载物装置，包括用于载物的浮动台、设于所述浮动台的下部用于调整浮动台位置的浮动件和用于锁紧所述浮动件实现对浮动件定位的锁紧组件，所述浮动台与所述浮动件固定连接。

优选的，所述锁紧组件包括设置于所述浮动台下部且可伸缩的缸体、置于所述缸体内部用于支撑所述浮动件的支撑座和用于固定支撑座位置的法兰板，所述支撑座的一端穿出所述缸体与所述法兰板固定连接，所述浮动件可活动的置于所述支撑座的另一端，浮动件远离支撑座的一端穿过缸体与所述浮动台固定连接，所述浮动件通过支撑座配合缸体压缩实现锁紧并定位。

优选的，所述浮动件包括浮动球体和固定连接于所述浮动球体上的支撑块，所述浮动台与所述支撑块固定连接。

优选的，所述支撑座上设置有用于放置所述浮动球体的凹槽，所述缸体上部设置有通孔，所述浮动件的上端穿过通孔，所述浮动件可在通孔内活动实现对浮动台位置的调整，所述通孔的尺寸小于所述浮动球体的直径。

优选的，所述缸体包括内部为中空结构的缸体本体和与缸体本体连接用于密封缸体本体的密封端盖，所述支撑座由上支撑座和下支撑座组成T形结构，所述上支撑座置于所述缸体本体内，所述下支撑座的下端穿过所述密封端盖与所述法兰板固定连接，所述上支撑座的下端与密封端盖之间设置有用于充放气以控制缸体本体沿上支撑座的侧壁伸缩的腔体，所述浮动件可活动的置于所述上支撑座的上端，所述上支撑座的上端与缸体本体内壁之间留有缸体本体伸缩的空间。

优选的，所述上支撑座的上端与缸体本体内壁之间设置有若干个用于在缸体放气后实现缸体复位的弹性件。

优选的，所述上支撑座的侧壁与缸体本体之间设置有用于对缸体本体的伸缩进行导向的导向环和用于实现对缸体内部气体密封的密封圈。

优选的，所述浮动台的纵向截面设置为倒U形结构，所述浮动台扣设于所述缸体上，所述浮动台与缸体之间留有供浮动台活动以实现位置调整的空间。

优选的，所述浮动台用于载物的端面上设置有多条用于增大浮动台摩擦力的纵横交错的条形槽。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

本实用新型提供了一种自适应浮动载物装置，该装置通过浮动件在支撑座上旋转实现对浮动台位置的调整，进而实现浮动台适应晶棒端面，浮动件通过支撑座配合缸体压缩实现锁紧并定位，进而实现浮动台位置的固定，晶棒置于浮动台上，通过浮动台位置的调整实现晶棒位置的调整，使晶棒的位置满足晶棒检晶线和检测同轴度的需求。

附图说明