[实用新型]一种用于三氯氢硅合成炉的温度计套管结构

权利要求书

1.一种用于三氯氢硅合成炉的温度计套管结构，其特征在于：包括管体，所述管体的前端伸入至合成炉内，所述管体的前端封焊有一堵头，所述堵头的前端部外露于所述管体，并将所述堵头的前端部设计为圆弧面，圆弧面的前端夹角为110～130度，在圆弧面上喷涂有一耐磨蚀涂层。

2.根据权利要求1所述的用于三氯氢硅合成炉的温度计套管结构，其特征在于：所述圆弧面的前端夹角为以圆弧面的前端中心为端点，圆弧面端点两侧对称部位之间的夹角。

3.根据权利要求1所述的用于三氯氢硅合成炉的温度计套管结构，其特征在于：所述圆弧面的前端夹角为120度。

4.根据权利要求1所述的用于三氯氢硅合成炉的温度计套管结构，其特征在于：外露于所述管体的堵头侧壁、与管体的前端间隙处填充镀设有高温粘结剂。

5.根据权利要求4所述的用于三氯氢硅合成炉的温度计套管结构，其特征在于：连接于所述管体前端与外露的堵头侧壁之间的高温粘结剂呈三角结构，且高温粘结剂的外表面也设置为弧形结构。

6.根据权利要求1所述的用于三氯氢硅合成炉的温度计套管结构，其特征在于：所述管体的外壁上也喷涂有所述耐磨蚀涂层。

7.根据权利要求1所述的用于三氯氢硅合成炉的温度计套管结构，其特征在于：所述管体的长度为1200mm，所述管体上喷涂有耐磨蚀涂层的长度为550mm，且临近所述堵头；所述耐磨蚀涂层的喷涂厚度大于1mm。

8.根据权利要求1所述的用于三氯氢硅合成炉的温度计套管结构，其特征在于：所述堵头上、外露于所述管体的长度大于30mm。