[实用新型]一种用于微型元件转移的转移承载装置有效
申请号: | 202020938961.8 | 申请日: | 2020-05-28 |
公开(公告)号: | CN212182274U | 公开(公告)日: | 2020-12-18 |
发明(设计)人: | 李强;许时渊;孔琴;向毅 | 申请(专利权)人: | 重庆康佳光电技术研究院有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L33/00 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 江舟 |
地址: | 402760 重庆市璧*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 微型 元件 转移 承载 装置 | ||
本实用新型涉及一种用于微型元件转移的转移承载装置,该用于微型元件转移的转移承载装置包括光源模块;光调制模块,设置在光源模块的出光侧;转移安装模块,设置在光调制模块的出光侧;其中,转移安装模块包括间隔设置的遮光挡墙以及用于放置微型元件的转移元件,转移元件设置在各个相邻的遮光挡墙之间。该用于微型元件转移的转移承载装置,通过间隔设置的遮光挡墙,可有效的防止光线对不需要转移区域的影响,有助于实现更精确的微型元件的选择性转移。
技术领域
本实用新型涉及显示技术领域,尤其涉及用于微型元件转移的转移承载装置。
背景技术
微型元件,如微型发光二极管(Light Emitting Diode,LED)由于其具有良好的稳定性,寿命长,以及具有低功耗、色彩饱和度高、反应速度快、对比度强等优点,故其被广泛地应用于显示器件中。而在微型LED显示器件的生产过程中,要把数百万甚至数千万颗微米级的LED芯片正确且有效率的移动到显示背板上,这个过程被称为巨量转移。
在现有的技术中,先将待转移的LED芯片放置于暂存基板上,然后将暂存基板上的所有LED芯片通过一次或两次转移转移至显示背板中;但显示背板在经过一次巨量转移后,往往会由于各种原因,而导致显示背板中部分位置未能成功安装LED芯片,故其需要额外的检修设备在未能成功安装LED芯片的位置上,重新有目标的地安装LED芯片;因此,为了保证巨量转移的顺利完成,其需要同时配备转移设备和检修设备,其导致生产的成本较高,且生产的效率也较低。
因此,如何克服上述技术难点是亟需解决的问题。
发明内容
鉴于上述现有技术的不足,本申请的目的在于提供用于微型元件转移的转移承载装置,旨在实现更精确的微型元件的选择性转移。
本申请提供一种用于微型元件转移的转移承载装置,所述用于微型元件转移的转移承载装置包括:
光源模块;
光调制模块,设置在所述光源模块的出光侧;
转移安装模块,设置在所述光调制模块的出光侧;
其中,所述转移安装模块包括间隔设置的遮光挡墙以及用于放置微型元件的转移元件,所述转移元件设置在各个相邻的所述遮光挡墙之间。
该用于微型元件转移的转移承载装置,通过间隔设置的遮光挡墙,可有效的防止光线对不需要转移区域的影响,有助于实现更精确的微型元件的选择性转移。
可选地,所述光调制模块包括空间光调制器。
可选地,所述转移安装模块还包括设置在所述光调制模块的出光侧表面的透光胶层;
所述转移元件设置在所述透光胶层之上。
可选地,所述光源模块包括发光源以及光学透镜;
所述发光源设置在所述光学透镜的焦点处。
可选地,所述转移元件至少包括以下之一:光膨胀转移元件、光收缩转移元件。
可选地,所述光调制模块包括多个光控制单元,每个所述转移元件对应一个所述光控制单元。
可选地,所述转移元件包括靠近所述光调制模块的第一表面以及远离所述光调制模块的第二表面;
所述转移元件的第二表面用于放置所述微型元件;
所述转移元件的第一表面在所述光调制模块的正投影的面积大于所述微型元件在所述转移元件的正投影的面积。
可选地,所述空间光调制器包括依次设置的第一偏光片、第一基板、液晶分子层、第二基板和第二偏光片;
所述第一偏光片设置在所述光源模块的出光侧;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造