[实用新型]电池片镀膜设备有效
| 申请号: | 202020935362.0 | 申请日: | 2020-05-28 |
| 公开(公告)号: | CN212582004U | 公开(公告)日: | 2021-02-23 |
| 发明(设计)人: | 李时俊;梁建军;朱海剑 | 申请(专利权)人: | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司;常州捷佳创精密机械有限公司 |
| 主分类号: | C23C16/54 | 分类号: | C23C16/54;C23C16/458;C23C16/46 |
| 代理公司: | 北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) 11343 | 代理人: | 尚志峰;胡晓明 |
| 地址: | 518118 广东省深圳市坪山*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 电池 镀膜 设备 | ||
1.一种电池片镀膜设备,其特征在于,包括:
多个真空腔体;
多个真空门阀,相邻的两个所述真空腔体之间通过一个所述真空门阀相连;
运料装置,用于向所述真空腔体内输入电池片或从所述真空腔体内运出电池片;
载板,可流转地设于多个所述真空腔体内,所述载板用于承载所述电池片;
电池片升降装置,用于在所述运料装置和所述载板之间传输所述电池片;
第一传输装置,每个所述真空腔体内设有所述第一传输装置,
其中,所述第一传输装置用于在多个所述真空腔体之间传输所述载板和/或传输所述运料装置。
2.根据权利要求1所述的电池片镀膜设备,其特征在于,
所述多个真空腔体包括:相互连接的第一真空腔体和第二真空腔体,所述第一真空腔体远离所述第二真空腔体的一端设有第一大气门阀;
所述第一大气门阀开启,以供所述运料装置出入所述第一真空腔体;
所述第一大气门阀关闭,以供所述第一真空腔体内进行抽真空;
所述运料装置可通过所述第一传输装置在所述第一真空腔体和所述第二真空腔体之间往复运动。
3.根据权利要求2所述的电池片镀膜设备,其特征在于,
所述第二真空腔体内的所述第一传输装置可伸缩地设置;
所述电池片升降装置包括第一电池片升降机构,设于所述第二真空腔体内;
所述第二真空腔体内还设有第一载板顶升机构,所述第一载板顶升机构用于升降所述载板。
4.根据权利要求3所述的电池片镀膜设备,其特征在于,
所述第一电池片升降机构上设有多个升降立柱;
所述载板上设有通孔,所述通孔用于避让所述升降立柱。
5.根据权利要求3或4所述的电池片镀膜设备,其特征在于,
所述多个真空腔体还包括:第三真空腔体,与所述第二真空腔体连接,所述第三真空腔体用于所述电池片进行第一工序;
所述第三真空腔体内还设有第一加热器和第一加热器顶升机构,所述第一加热器用于加热所述载板,所述第一加热器顶升机构用于顶升所述第一加热器,且所述第一加热器和所述第一传输装置错位设置;
所述载板通过所述第一传输装置,从所述第二真空腔体运动至所述第三真空腔体内。
6.根据权利要求5所述的电池片镀膜设备,其特征在于,
所述多个真空腔体还包括:过渡真空腔体,所述过渡真空腔体与所述第三真空腔体连接;
所述载板通过所述第一传输装置,从所述第三真空腔体运动至所述过渡真空腔体内。
7.根据权利要求6所述的电池片镀膜设备,其特征在于,
所述多个真空腔体还包括:第四真空腔体,与所述过渡真空腔体连接,所述第四真空腔体用于所述电池片执行第二工序;
所述第四真空腔体内还设有第二加热器和第二加热器顶升机构,所述第二加热器用于加热所述载板,所述第二加热器顶升机构用于顶升所述第二加热器,且所述第二加热器和所述第一传输装置错位设置;
所述载板通过所述第一传输装置从所述过渡真空腔体运动至所述第四真空腔体内。
8.根据权利要求7所述的电池片镀膜设备,其特征在于,
所述多个真空腔体还包括:第五真空腔体,与所述第四真空腔体连接;
所述第五真空腔体内可伸缩地设有所述第一传输装置,载板通过所述第一传输装置从所述第四真空腔体运动至所述第五真空腔体内;
所述电池片升降装置还包括第二电池片升降机构,设于所述第五真空腔体内,所述第二电池片升降机构上设有升降立柱;
所述第五真空腔体内还设有第二载板顶升机构,所述第二载板顶升机构用于升降所述载板;
所述运料装置还通过所述第一传输装置出入所述第五真空腔体;
所述第二电池片升降机构用于在所述运料装置和所述载板之间传输加工完成的所述电池片。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的





