[实用新型]一种用于太阳能电池硅片表面的平整度检测装置

权利要求书

1.一种用于太阳能电池硅片表面的平整度检测装置，其包括用于承载所述太阳能电池硅片的承载板以及悬设在所述承载板上方，用于检测所述太阳能电池硅片表面平整度的激光位移传感器，其特征在于，所述承载板的顶部开设检测槽，所述检测槽内设置有夹紧组件，所述夹紧组件包括立板，所述立板的一侧平行设置有移动板，所述立板的板体上螺纹插接有螺杆一，所述螺杆一杆部的端部与所述移动板的相应侧壁转动连接，所述立板与所述移动板之间还通过一伸缩杆一连接，所述移动板远离所述立板的一侧竖向开设有滑槽，所述滑槽内滑动连接有与所述滑槽相垂直的套筒，所述套筒远离所述滑槽的一端具有开口，所述开口内滑动连接有滑块，所述滑块的一侧与所述套筒的相应筒壁之间通过弹簧弹性连接，所述滑块的相对另一侧通过连杆连接有与所述移动板相平行的夹板一；所述移动板远离所述立板一侧的顶部设置有固定块，所述固定块上螺纹插接有螺杆二，所述螺杆二杆部的端部与所述套筒的相应侧壁转动连接。

2.如权利要求1所述的用于太阳能电池硅片表面的平整度检测装置，其特征在于，所述移动板靠近所述螺杆一的一侧设置有轴座一，所述轴座一的内部安装有轴承一，所述螺杆一杆部的端部与所述轴承一的内圈通过键连接。

3.如权利要求1所述的用于太阳能电池硅片表面的平整度检测装置，其特征在于，所述套筒靠近所述螺杆二的一侧设置有轴座二，所述轴座二的内部安装有轴承二，所述螺杆二杆部的端部与所述轴承二的内圈通过键连接。

4.如权利要求1所述的用于太阳能电池硅片表面的平整度检测装置，其特征在于，所述检测槽的槽体底部铺设有缓冲垫。

5.如权利要求1所述的用于太阳能电池硅片表面的平整度检测装置，其特征在于，所述检测槽远离所述夹紧组件的一端设置有与所述夹板一相对应的夹板二。

6.如权利要求1所述的用于太阳能电池硅片表面的平整度检测装置，其特征在于，位于所述检测槽一侧的所述承载板的顶部设置有立柱，所述立柱上转动连接有与所述立柱相垂直的丝杆，所述丝杆的杆体上螺纹套接有螺母套，所述螺母套与所述立柱之间还通过伸缩杆二连接，所述激光位移传感器通过吊杆安装在所述螺母套的底部。

7.如权利要求6所述的用于太阳能电池硅片表面的平整度检测装置，其特征在于，所述立柱远离所述丝杆的一侧安装有电机，所述电机的输出轴与所述丝杆连接。