[实用新型]一种叠层薄膜的生产装置

权利要求书

1.一种叠层薄膜的生产装置，其特征在于，包括至少两种不同的沉积炉，每种沉积炉均包括炉体(1)、射频电源(3)、真空泵(4)，炉体(1)与射频电源(3)和真空泵(4)连接，炉体(1)还设置有加热系统(2)；

其中至少一种沉积炉的数目不少于两个，该同种类沉积炉的进气气路共用同一公共气路(10)和/或同一射频电源(3)。

2.根据权利要求1所述的叠层薄膜的生产装置，其特征在于，至少一种沉积炉的数目不少于两个，每两个该同种类沉积炉共用同一公共气路(10)和/或同一射频电源(3)；若该同种类的沉积炉总数为单数，则有一个沉积炉，单独接入气路或射频电源(3)。

3.根据权利要求1所述的叠层薄膜的生产装置，其特征在于，所述的公共气路(10)上依次设置有单表手动减压阀(11)、过滤垫片(12)、手动截止阀(13)、气动隔膜截止阀(16)、单向阀(14)、质量流量计(15)。

4.根据权利要求1所述的叠层薄膜的生产装置，其特征在于，所述的炉体(1)与真空泵(4)连接处设置有蝶阀(19)及角阀(20)。

5.根据权利要求1-4任一项所述的叠层薄膜的生产装置，其特征在于，所述的沉积炉为第一沉积炉(17)和第二沉积炉(18)两种不同的沉积炉。

6.根据权利要求5所述的叠层薄膜的生产装置，其特征在于，所述的沉积炉的数量为5个，其中三个为同种类沉积炉，两个为另一种类沉积炉，两种沉积炉间隔排布。

7.根据权利要求6所述的叠层薄膜的生产装置，其特征在于，每两个相接近的同种类沉积炉配对共用同一公共气路(10)和/或射频电源(3)，三个同种类的沉积炉中一个沉积炉单独接入气路及射频电源(3)。

8.根据权利要求7所述的叠层薄膜的生产装置，其特征在于，所述的三个同种类沉积炉为氮化硅沉积炉，两个为另一种类沉积炉为氧化铝沉积炉。