[实用新型]一种燃烧枪有效

专利信息
申请号: 202020899014.2 申请日: 2020-05-25
公开(公告)号: CN212609587U 公开(公告)日: 2021-02-26
发明(设计)人: 赵青松;牛晓东;陶明杰;汪廷磊;顾小英;朱刘 申请(专利权)人: 广东先导先进材料股份有限公司
主分类号: C01B33/12 分类号: C01B33/12;C04B41/50;C03C17/23
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 颜希文;宋亚楠
地址: 511517 广东省清*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 燃烧
【说明书】:

实用新型公开了一种燃烧枪,包括具有空腔的枪体以及与枪体连通的喷头;枪体内设置若干通道,喷头设置有分别与若干通道一一对应相连通的若干喷嘴;若干喷嘴自内而外依序套设且若干喷嘴的长度由内至外呈递增趋势。本实用新型的燃烧枪,通过使得外侧喷嘴长度大于内侧的喷嘴长度,实现外侧喷嘴对内侧喷嘴的包覆;在外侧喷嘴的包覆下,燃烧气体在惰性气体保护气氛下燃烧生成二氧化硅附着在石英舟表面,从而获得保护膜进行燃烧时能够有效的隔绝外侧空气,将燃烧控制在喷嘴范围内,实现更为安全的燃烧镀膜。

技术领域

本实用新型涉及镀膜领域,进一步的,本实用新型涉及一种燃烧枪。

背景技术

目前,二氧化硅膜是通过燃烧硅烷获得,通常使用三种气体:硅烷、氧气和氩气。硅烷和氧气在氩气的保护气氛下燃烧生成二氧化硅附着在石英舟表面,从而获得保护膜。硅烷是一种高危气体,在空气中即可燃烧,爆炸极限是0.8%~98%,极易发生爆炸,因此需要一种更为安全的硅烷镀膜装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种燃烧枪,能够实现更安全的硅烷镀膜。

为实现上述目的,本实用新型所提供的一种燃烧枪,包括具有空腔的枪体以及与所述枪体连通的喷头;所述枪体内设置若干通道,所述喷头设置有分别与若干所述通道一一对应相连通的若干喷嘴;若干所述喷嘴自内而外依序套设且若干所述喷嘴的长度由内至外呈递增趋势。

上述燃烧枪中,最内侧的所述喷嘴包括与对应所述通道相连通过的若干细通管。

上述燃烧枪中,若干所述细通管呈圆周排列。

上述燃烧枪中,所述空腔内沿枪体的轴线设置有若干依序套设的筒状隔板,相邻的所述隔板之间形成所述通道。

上述燃烧枪中,所述枪体还设置有与所述通道一一对应连通的若干进气管。

上述燃烧枪中,还包括若干用于连通所述通道与对应所述喷嘴的连接管。

上述燃烧枪中,若干所述喷嘴呈同心圆套设。

上述燃烧枪中,所述通道的数量为三个。

上述技术方案所提供的一种燃烧枪,与现有技术相比,其有益效果包括:通过使得外侧喷嘴长度大于内侧的喷嘴长度,实现外侧喷嘴对内侧喷嘴的包覆;在外侧喷嘴的包覆下,燃烧气体在惰性气体保护气氛下燃烧生成二氧化硅附着在石英舟表面,从而获得保护膜进行燃烧时能够有效的隔绝外侧空气,将燃烧控制在喷嘴范围内,实现更为安全的燃烧镀膜。

附图说明

图1是本实用新型的燃烧枪的结构示意图;

图2是本实用新型的燃烧枪的剖面图;

图3是本实用新型的燃烧枪的喷头的主视图。

其中,1-枪体,11-通道,12-隔板,2-喷头,21-喷嘴,22-细通管,3-进气管,4-连接管。

具体实施方式

下面结合附图和实施例,对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型,但不用来限制本实用新型的范围。

请参阅附图1-3,本实用新型所提供的一种燃烧枪,包括具有空腔的枪体1以及与枪体1连通的喷头2;枪体1内设置若干通道11,喷头2设置有分别与若干通道11一一对应相连通的若干喷嘴21;若干喷嘴21自内而外依序套设且若干喷嘴21的长度由内至外呈递增趋势。

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