[实用新型]一种霍尔离子源装置

说明书

本实用新型公开了一种霍尔离子源装置，包括磁钢组件和工作机构，磁钢组件的下端安装有工作机构；在底座的底端设置有吸盘，使得装置在进行真空镀膜时，能够利用吸盘及时地吸住地面或桌面，避免发生晃动或倾斜影响镀膜的效果；连接块的上端面开设有固定孔，固定孔与主螺栓相互配合，使得整个装置可通过弧形卡槽与弧形卡块和固定孔与主螺栓拆卸成三大部分。该装置在壳体的内腔中安装有导热板和若干辅助螺栓，导热板的上端面开设有若干通孔，辅助螺栓穿透通孔且其底端外壁上套接有螺母，使得导热板在损坏时，操作者能够先旋下螺母，将导热板利用通孔从辅助螺栓上卸下即可，无需对整个冷却机构进行维修，节省了维修成本。

技术领域

本实用新型涉及离子源技术领域，具体为一种霍尔离子源装置。

背景技术

离子源是使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置。霍尔离子源通过在真空环境下，利用发射的电子在电场和磁场的相互作用下，使充入真空室的气体产生离化，在电场和磁场的作用下发射离子。霍尔离子源现已被广泛应用在一般辅助镀膜领域，气体放电、电子束对气体原子(或分子)的碰撞，带电粒子束使工作物质溅射以及表面电离过程都能产生离子，并被引出成束。根据不同的使用条件和用途，已研制出多种类型的离子源。使用较广泛的有弧放电离子源、PIG离子源、双等离子体离子源和双彭源这些源都是以气体放电过程为基础的,常被笼统地称为弧源。

现有的霍尔离子源装置，大多导热板不易更换，装置不易拆装且稳固性能不好。

针对这些面对的问题和挑战，我们提出了一种霍尔离子源装置，它具有导热板更换方便、装置拆装方便且稳固性能较好等优点。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种霍尔离子源装置，它具有导热板更换方便、装置拆装方便且稳固性能较好等优点，从而解决了传统霍尔离子源装置，大多导热板不易更换，装置不易拆装且稳固性能不好的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种霍尔离子源装置，包括磁钢组件和工作机构，磁钢组件的下端安装有工作机构，所述磁钢组件包括弧形磁钢、第一连接管和第二连接管，弧形磁钢的上端面安装有安装架，弧形磁钢的底端设置有若干第一连接管，且弧形磁钢的底端中央安装有第二连接管，第二连接管和第一连接管的底端均连接工作机构；

所述工作机构包括壳体和底座结构，壳体的外壁周围设置有固定套管，且壳体的上端面分别开设有第二安装孔和第一安装孔，且壳体的底面上设置有主螺栓。

进一步地，所述壳体的内腔中安装有导热板和若干辅助螺栓，导热板的上端面开设有若干通孔，辅助螺栓穿透通孔且其底端外壁上套接有螺母。

进一步地，所述第二连接管的外壁表面设置有弧形卡块，且第二安装孔的内壁上加工有弧形卡槽，弧形卡槽与弧形卡块相互配合。

进一步地，所述底座结构由连接块和底座组成，连接块的上端面开设有固定孔，固定孔与主螺栓相互配合。

进一步地，所述底座的底端设置有吸盘，且吸盘由一种硅橡胶材质制成的构件。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本霍尔离子源装置，在壳体的内腔中安装有导热板和若干辅助螺栓，导热板的上端面开设有若干通孔，辅助螺栓穿透通孔且其底端外壁上套接有螺母，使得导热板在损坏时，操作者能够先旋下螺母，将导热板利用通孔从辅助螺栓上卸下即可，无需对整个冷却机构进行维修，节省了维修成本。

2、本霍尔离子源装置，在第二安装孔的内壁上加工有弧形卡槽，弧形卡槽与弧形卡块相互配合，第二连接管的外壁表面设置有弧形卡块，且连接块的上端面开设有固定孔，固定孔与主螺栓相互配合，使得整个装置可通过弧形卡槽与弧形卡块和固定孔与主螺栓拆卸成三大部分，便于适时地进行清洗和更换内部零件，与传统的一体化装置相比，也更方便运输。