[实用新型]传送机构以及固晶设备有效
| 申请号: | 202020882430.1 | 申请日: | 2020-05-21 |
| 公开(公告)号: | CN211828714U | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
| 发明(设计)人: | 胡新荣 | 申请(专利权)人: | 中山市新益昌自动化设备有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/67 |
| 代理公司: | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人: | 陈延侨 |
| 地址: | 528400 广东省中山*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 传送 机构 以及 设备 | ||
1.一种传送机构,其特征在于,包括安装台(100)以及两个在左右方向上间隔设置且均安装于所述安装台(100)的传送组件(200),其中,所述传送组件(200)包括连接板(210)、安装于所述连接板(210)的带传送结构(220)、安装于所述安装台(100)并用于驱动所述带传送结构(220)在左右方向上移动的调节结构(230)以及用于在所述调节结构(230)驱动所述带传送结构(220)在左右方向上移动引导所述带传送结构(220)的导向结构(240),所述导向结构(240)包括导向座(241)和导向块(242),所述导向座(241)开设有左右方向延伸的导向槽,所述导向块(242)滑接于导向槽内;
所述导向座(241)连接于所述连接板(210)和所述安装台(100)其中之一,所述导向块(242)则连接于所述连接板(210)和所述安装台(100)其中另一。
2.如权利要求1所述的传送机构,其特征在于,所述带传送结构(220)包括传送带(221)、主动轮、两个从动轮(222)以及用于驱动所述主动轮转动并安装于所述连接板(210)的驱动电机(223),所述传送带(221)呈环状设置,所述主动轮和两所述从动轮(222)穿设于所述传送带(221)并共同张紧所述传送带(221),所述传送带(221)中两所述从动轮(222)的上侧之间带段水平设置。
3.如权利要求2所述的传送机构,其特征在于,所述从动轮(222)与所述连接板(210)转动连接。
4.如权利要求2所述的传送机构,其特征在于,所述主动轮的水平位和所述从动轮(222)的水平位相同,所述主动轮的轮径和所述从动轮(222)的轮径相同。
5.如权利要求4所述的传送机构,其特征在于,所述带传送结构(220)还包括至少一个支撑轮(224),所述支撑轮(224)的水平位与所述从动轮(222)的水平位相同。
6.如权利要求5所述的传送机构,其特征在于,所述支撑轮(224)与所述连接板(210)转动连接。
7.如权利要求1至6中任一项所述的传送机构,其特征在于,所述连接板(210)开设有左右方向的螺纹孔;
所述调节结构(230)包括与所述螺纹孔螺接配合的螺杆(231)以及用于驱动所述螺杆(231)转动的调节电机(232)。
8.如权利要求7所述的传送机构,其特征在于,所述螺纹孔贯通设置。
9.如权利要求1至6中任一项所述的传送机构,其特征在于,所述传送结构还包括至少三个调节脚(300),各所述调节脚(300)安装于所述安装台(100)的下侧。
10.一种固晶设备,其特征在于,包括如权利要求1至9中任一项所述传送机构。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





