[实用新型]一种环形激光器充排气装置

权利要求书

1.一种环形激光器充排气装置，包括真空排气系统、电离规、高真空挡板阀1、充气阳极、高真空挡板阀2、环形激光器、电容薄膜规，高真空挡板阀3、手动微调阀、混合气体供应装置；其特征在于所述真空排气系统与电离规连接，所述电离规与高真空挡板阀2连接，所述高真空挡板阀2与排气阳极连接，所述排气阳极连接在环形激光器阳极口上，所述充气阳极连接在环形激光器另一阳极口上，所述充气阳极与高真空挡板阀1连接，所述高真空挡板阀1与电容薄膜规连接，所述电容薄膜规与高真空挡板阀3和手动微调阀依次连接，所述手动微调阀与混合气体供应装置连接。

2.如权利要求1所述的环形激光器充排气装置，其特征在于充排气管路各自独立，没有公共管路，避免了充排气采用同一管路，排气管壁上吸附的污染物在充注气体时被带回环形激光器造成污染的问题。