[实用新型]一种双工位激光刻蚀设备

说明书

本实用新型公开了一种双工位激光刻蚀设备，属于激光刻蚀技术领域。本实用新型的激光刻蚀设备包括加工平台、相机定位装置和安装在加工平台上方的激光发射装置，以及配合于加工平台的上下料装置。加工平台包括并列设置的A加工平台和B加工平台，两个相机定位装置分别安装在A加工平台和B加工平台上方，用于对加工平台上的电池片进行定位检测。在相机定位装置的镜头上安装有滤光片用于吸收激光反射光线以增加定位检测拍照的质量，在加工平台下方设置有背板光源用于改善定位检测拍照时的光线效果。本实用新型两个加工平台可以同时工作，并且定位检测精度高，在高产能加工的同时，有效提高了加工精度。

技术领域

本实用新型涉及激光刻蚀技术领域，更具体地说，涉及一种双工位激光刻蚀设备。

背景技术

随着科技社会不断发展，人们越来越注重使用绿色能源，而太阳能作为绿色能源的代表，已经被广泛利用。目前太阳能发电主要利用光伏太阳能电池来进行太阳能对电能的转化。为提高光伏太阳能电池光电效率，该类电池的生产主要利用钝化发射极(SE)和背面(PERC)技术，而作为可以使用钝化发射极(SE)和背面(PERC)技术的激光设备成为了需要进一步研究的对象，通过对激光设备的优化来达到提高产能的目的。

目前缩短激光设备加工时间的工艺主要通过使用转台来实现。转台具有四个台面，每个台面分别完成不同的操作，一般为上料、使用相机对电池片进行拍照定位、根据定位坐标使用振镜控制激光的扫描位置将设置好的图形打在电池片的正中间、下料。当设备工作时，四个台面同时进行所在工位的操作，每次操作结束后转动转台，四个台面进入下个工位进行操作，一件产品在台面上通过转台转动，经过四个工位的操作后完成当前的生产工艺。这种流水式生产线的生产效率主要取决于其中花费时间最长的生产操作即激光刻蚀操作。

在生产过程中四个台面同时进行操作，完成单个产品的生产时间主要是激光刻蚀操作的时间加上转台转动的时间，想要提高设备的产能只能提高转台的转速和激光扫描刻蚀操作的速度。一方面，目前转台转速已经较高，提升空间小，且提速所需的成本较高；另一方面，要提高激光刻蚀操作则需要更好的振镜、更大功率的激光器，所需要的成本也高。

经过检索，现有技术中公开了一种双工位电池片激光加工设备(专利申请号：201920598873.5，申请日：2019年04月28日)，该申请案利用双工位同时进行加工，减少激光刻蚀加工等待的时间，从而提高电池片刻蚀加工的产能。

该专利在利用定位相机进行位置检测时，由于上方存在加工台和其他装置的投影，其定位拍照时光线效果差，会因光线不均匀而严重影响到晶元定位的精确度。

另有一现有技术，一种太阳能电池激光边缘刻蚀自动化系统(申请号：201220408895.9，申请日：2012年08月17日)，该申请案的自动化系统工作时，机械手传送装置将传送带上的工件移动到传送带两边的两个工件台上，激光束扫描聚焦装置通过直线电机滑台实现两个工件台上交替进行的刻蚀工作，之后再通过机械手传送装置将工件从工件台移动回传送带上。由于使用两个工件台同时工作，可以交替错时利用激光刻蚀时间与视觉定位时间，在不增加激光器的前提下提高刻蚀加工的产能。

实用新型内容

1.实用新型要解决的技术问题

本实用新型的目的在于克服现有技术中激光刻蚀产能低、精度差的缺点，提供了一种双工位激光刻蚀设备。本方案通过对激光发射装置与相机定位装置安装位置的改进，在高产能加工的同时，提高了定位检测的精确度。

2.技术方案

为达到上述目的，本实用新型提供的技术方案为：

一种双工位激光刻蚀设备，包括加工平台、相机定位装置和安装在加工平台上方的激光发射装置，以及配合于加工平台的上下料装置，所述加工平台包括并列设置的A加工平台和B加工平台，两个所述相机定位装置分别安装在A加工平台和B加工平台上方，用于对加工平台上的电池片进行定位检测。