[实用新型]一种晶棒取晶车

说明书

本实用新型公开了一种晶棒取晶车，涉及晶棒提取技术领域，针对现有的夹具多是用固定间距对晶棒进行夹持，或者是通过螺栓进行固定后，对晶棒进行提取，通过螺栓人工手动紧固夹具，这种方式过于传统，导致晶棒提取的效率降低，自动化程度较低，且不能自主的根据晶棒直径的大小进行调节等问题，现提出如下方案，包括堆高车和晶体，所述堆高车的顶部固定连接有升降机构，所述升降机构的一侧固定连接有旋转组件，所述旋转组件的一侧固定连接有固定板。本实用新型结构简单新颖，自动对晶棒稳固夹持，提高作业的自动化程度，提高工作的效率，可以根据晶棒的外径进行调节固定，提高装置使用的灵活性，适合进行市场推广。

技术领域

本实用新型涉及晶棒提取技术领域，尤其涉及一种晶棒取晶车。

背景技术

单晶硅的制作工艺其中一步是拉晶，所谓拉晶就是用单晶炉把多晶硅加热融化，再用籽晶向上拉引，慢慢形成一个长筒状的晶棒，晶棒从单晶炉中取出时需要利用取晶车接送。随着拉晶技术的快速发展，晶棒的长度越来越长，在可预见的未来，晶棒长度还会继续增加，长晶棒所占的比重将会越来越大。在单晶硅制造技术领域中，由于单晶炉炉台的高度有限，在取晶棒的过程中，晶棒要下降到单晶炉工作平台以下方能取出，晶棒的长度越长，下降到工作平台以下的长度就越长，当晶棒完全离开单晶炉副室减掉籽晶以后需要将晶棒再提升到单晶炉工作平台以上，然后旋转成水平状态转运，对于长晶棒而言，取晶车需要有足够的提升行程才能满足取晶棒要求。随着晶棒长度的大幅变化，晶棒的取运早已不是早期简单工装所能完成的工作，现有的取晶车可以实现将晶棒提取的功能，但是晶棒在进行固定夹持时，多是用固定间距对晶棒进行夹持，或者是通过螺栓进行固定后在对晶棒进行提取，通过螺栓人工手动紧固夹具，这种方式过于传统，导致晶棒提取的效率降低，自动化程度较低，且不能自主的根据晶棒直径的大小进行调节，为此我们提出一种晶棒取晶车。

实用新型内容

本实用新型提出的一种晶棒取晶车，解决了现有的夹具对晶棒进行固定，多是用固定间距对晶棒进行夹持，或者是通过螺栓进行固定后在对晶棒进行提取，通过螺栓人工手动紧固夹具，这种方式过于传统，导致晶棒提取的效率降低，自动化程度较低，且不能自主的根据晶棒直径的大小进行调节等问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种晶棒取晶车，包括堆高车和晶体，所述堆高车的顶部固定连接有升降机构，所述升降机构的一侧固定连接有旋转组件，所述旋转组件的一侧固定连接有固定板，所述固定板远离旋转组件的一侧固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端焊接有转轴，所述转轴远离驱动电机的一端焊接有第一锥齿轮，所述第一锥齿轮的一端设有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮与第一锥齿轮啮合传动，所述第二锥齿轮的内圈固定套设有螺纹杆，所述螺纹杆的外圈设有移动杆，所述移动杆上开设有移动槽，所述移动槽的内壁滑动连接有移动块，所述移动块的一侧铰接有支撑杆，所述支撑杆远离移动块的一端铰接有夹具，所述夹具的一侧焊接有推杆。

优选的，堆高车的下方固定安装有基座，所述驱动电机为双轴电机，所述驱动电机的外部设有防护罩，所述防护罩与固定板通过螺栓固定连接，所述固定板的一侧焊接有连接块，所述连接块的内壁固定安装有轴承，所述螺纹杆与轴承的内壁固定连接。

优选的，螺纹杆为双向螺杆，所述固定板靠近第二锥齿轮的一次二沿其长度方向开设有滑槽，所述移动杆的一端焊接有滑块，所述滑块与滑槽的内壁滑动连接，且滑块与滑槽的横截面均为“T”字形结构。

优选的，移动杆上开设有第一通孔，所述螺纹杆贯穿第一通孔，所述第一通孔的内圈设有内螺纹，所述内螺纹与螺纹杆外圈螺纹相互适配。

优选的，夹具的横截面为圆弧形，所述夹具的凸面与支撑杆铰接，所述移动杆上开设有第二通孔，所述推杆贯穿第二通孔，所述推杆贯穿第二通孔的一端焊接有限位块，所述限位块的最大外径大于第二通孔的最大内径，所述推杆的外圈套设有挤压弹簧。