[实用新型]储液槽及温控系统

说明书

本实用新型提供了一种储液槽及温控系统，储液槽包括槽体及设置在所述槽体上的盖板，所述槽体的底部设置有进液口和出液口，所述槽体的一侧壁靠近所述盖板处设置有排液口，所述槽体内部的所述进液口和所述排液口之间设置有阻挡层。本实用新型通过在所述进液口和所述排液口之间设置阻挡层，分散了进液口的液体压力，进而减弱了储液槽内部的液面波动，避免液面波动剧烈或液体溢出造成的液位低下报警，保证了储液槽功能的稳定性。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造设备领域，尤其涉及一种储液槽及温控系统。

背景技术

现代超精密制造、加工以及仪器测量已进入到纳米、亚纳米甚至皮米的技术水平。随着科学技术的提高，环境因素对这些高、精、尖仪器设备的影响作用也越来越显著。据相关统计，在精密及超精密加工中，近40％～70％的加工误差来源于机床的热变形，显然以温度为代表的环境参数已经成为制约超精密技术进一步发展的重要因素。

光刻机作为高集成度、高精密制造装备对工作环境要求极为苛刻，对高精度温控设备的需要也十分迫切。温控设备往往通过带有储液槽的温控装置对设备进行温度控制，而储液槽内设有液位传感器以监测液面的实时情况。当液体输入储液槽时，液体流速过大易造成液面波动剧烈，从而误触液位传感器报警；严重时，部分液体会从排液口溢出，造成液面进一步下降，导致液位传感器报警，造成温控系统长时间宕机。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种储液槽及温控系统，通过改进储液槽的内部结构以分散液体压力，避免液面波动剧烈或液体溢出，避免液位低下报警，进而避免系统长时间宕机。

为了达到上述目的，本实用新型提供了一种储液槽，所述储液槽包括槽体及设置在所述槽体上的盖板，所述槽体的底部设置有进液口和出液口，所述槽体的一侧壁靠近所述盖板处设置有排液口，所述槽体内部的所述进液口和所述排液口之间设置有阻挡层。

可选的，所述阻挡层的材料为生化棉。

可选的，所述阻挡层的厚度范围为20mm-40mm，所述阻挡层的孔径范围为2mm-3mm。

可选的，所述储液槽还包括设置在所述进液口上的滤网及设置在所述出液口上的箱体，所述阻挡层设置在所述滤网与所述排液口之间。

可选的，所述阻挡层通过螺栓、胶粘、卡钩或铰链的方式连接在所述滤网上。

可选的，所述滤网上设置有贯穿所述阻挡层的限位杆，以使所述阻挡层沿液面升降的方向活动。

可选的，所述盖板上设置有可视视窗。

可选的，所述可视视窗包括贯穿所述盖板的通孔及设置在所述通孔上的透明面板。

可选的，所述透明面板的材料包括塑料、玻璃或透明树脂。

本实用新型还提供了一种温控系统，所述温控系统包括以上所述储液槽。

综上所述，本实用新型提供一种储液槽，包括槽体及设置在所述槽体上的盖板，所述槽体的底部设置有进液口和出液口，所述槽体的一侧壁靠近所述盖板处设置有排液口，所述槽体内部的所述进液口和所述排液口之间设置有阻挡层。本实用新型通过在所述进液口和所述排液口之间设置阻挡层，分散了进液口的液体压力，进而减弱了储液槽内液面波动，避免液面波动剧烈或液体溢出造成的液位低下报警，保证了储液槽功能的稳定性。

进一步的，本实用新型在储液槽的盖板上设置可视视窗，在不影响储液槽正常功能的情况下便于观察槽体的内部情况，为储液槽的检查和维修工作提供了便利。

附图说明

图1为本实施例提供的储液槽的结构示意图；

图2为图1中储液槽未设置阻挡层时的储液情况示意图；

图3为图1中储液槽设置阻挡层时的储液情况示意图；