[实用新型]一种点源坩埚

说明书

本实用新型公开了一种点源坩埚，包括：坩埚本体、坩埚盖片、坩埚垫片、紧固结构；所述坩埚盖片盖设于所述坩埚本体的开口处上；所述坩埚盖片上还设置有第一通孔，所述坩埚垫片设置有第二通孔，且所述坩埚垫片通过紧固结构盖设于通孔上，所述坩埚垫片的第二通孔正对所述坩埚盖片的第一通孔，所述紧固结构用于防止所述坩埚垫片与坩埚盖片相对移动。发明人通过增设紧固结构的方式阻止坩埚盖片与坩埚垫片发生相对的运动，同时使坩埚盖片与坩埚垫片二者处在相对固定的位置上。解决坩埚震动导致的坩埚垫片错位，以及坩埚垫片堵孔的问题。

技术领域

本实用新型涉及OLED蒸镀器件领域，尤其涉及一种点源坩埚。

背景技术

通过真空热蒸镀的工艺可以制备OLED器件，而对于蒸镀工艺，蒸发源是其核心，其中点蒸发源是蒸发源的一种，也是真空热蒸镀的一种方式。请参阅图1，点蒸发源中最常用的坩埚是带有开孔的圆柱形坩埚，具有结构简单，稳定性，均匀性好的特点，点蒸发源由加热源、坩埚、坩埚盖片和坩埚垫片等组成，现有技术中常见的点蒸发源结构。

可是因为坩埚口与坩埚四周的加热丝有一定距离，造成坩埚口的温度相比于OLED材料蒸发的蒸发温度会偏低，导致在温度较低的出口处会使蒸发的 OLED材料重新凝结，如果逐渐聚集会出现堵孔的现象，而坩埚垫片起到了保温作用，使得坩埚口保持一定温度避免发生堵空的现象，而且还有起到防止材料镀到坩埚口附近污染坩埚口或是由于在降温过程中坩埚口附近的温度降太快造成坩埚口粘合。

前参阅图2、图3，目前坩埚垫片是普通平滑的垫片，而坩埚盖片会设计成凹陷的结构，使得坩埚垫片在放置时处于凹陷处，正好围住坩埚喷嘴。然而在设备开腔作业(比如坩埚加料、更换坩埚或是其它坩埚)可能会由于震动使得坩埚垫片受到影响导致垫片错位，而未被察觉到，在蒸镀时堵住坩埚口；或是由于材料蒸汽喷出导致坩埚垫片偏移出现堵孔等问题。

如果坩埚垫片发生错位会堵住坩埚喷嘴口造成镀率偏低，影响成膜状况，而且如果材料不断在坩埚口聚集会出现塞孔情况，导致点源坩埚无法继续使用，需要重新更换，增大了生产作业成本；若发生错位情况，点源坩埚则要降温后处理坩埚状况，判断事情严重性，影响后续的进程。

实用新型内容

为此，需要提供一种点源坩埚，解决坩埚震动导致的坩埚垫片错位，以及坩埚垫片堵孔的问题。

为实现上述目的，发明人提供了一种点源坩埚，包括：坩埚本体、坩埚盖片、坩埚垫片、紧固结构；所述坩埚盖片盖设于所述坩埚本体的开口处上；所述坩埚盖片上还设置有第一通孔，所述坩埚垫片设置有第二通孔，且所述坩埚垫片通过紧固结构盖设于通孔上，所述坩埚垫片的第二通孔正对所述坩埚盖片的第一通孔，所述紧固结构用于防止所述坩埚垫片与坩埚盖片相对移动。

进一步地，所述紧固结构包括：公扣和母扣；所述公扣和母扣相互卡合；用于防止所述坩埚垫片与坩埚盖片相对移动；

所述公扣置于坩埚盖片上，且所述母扣置于坩埚垫片上；或者所述公扣设置于坩埚垫片上，且所述母扣置于坩埚盖片上。

进一步地，所述公扣为“L”形公扣，所述母扣为“L”形母扣，“L”形公扣与“L”形母扣相互卡合；

所述“L”形公扣置于坩埚盖片上，且所述“L”形母扣置于坩埚垫片上；或者所述“L”形公扣设置于坩埚垫片上，且所述“L”形母扣置于坩埚盖片上。

进一步地，所述紧固结构包括：凹槽、凸块；所述凹槽置于坩埚盖片上，且所述凸块置于坩埚垫片上；

或者所述凹槽置于坩埚垫片上，且所述凸块置于坩埚盖片上；所述凹槽套设于凸块上。

进一步地，所述凹槽为环形槽，所述凸块为环形凸块；所述环形槽、环形凸块分别环绕设置于第一通孔或第二通孔上。

进一步地，所述紧固结构内设置有磁性件，且所述坩埚盖片为铁坩埚盖片；所述坩埚垫片通过磁性件吸附于所述坩埚盖片上。