[实用新型]一种OLED制程用喷嘴的喷砂保护治具

说明书

本实用新型是一种OLED制程用喷嘴的喷砂保护治具，其特征在于，包括安装板，安装板上竖直固接有若干平行的喷嘴保护套，喷嘴保护套包括喷嘴外缘护套，喷嘴外缘护套的内部同轴设有喷嘴内部护塞，喷嘴内部护塞固接在喷嘴保护套内，喷嘴外缘护套与喷嘴内部护塞之间设有环形槽，环形槽为盲孔槽。本实用新型结构设计合理，通过在同一安装板上设置若干喷嘴保护套，使用方便，解决了喷砂保护治具由于体积小而易丢失的问题，提高了部件保护效率，通过设置环形槽、喷嘴外缘护套和喷嘴内部护塞，改善了对喷嘴内外部的贴合度，在坩埚进行喷砂作业时，防止了溅射到喷嘴内外部，进而保证了喷嘴内外部的光洁度。

技术领域

本实用新型涉及喷砂保护治具技术领域，尤其涉及一种OLED制程用喷嘴的喷砂保护治具。

背景技术

OLED设备工艺腔体中需要使用长方形的坩埚部件来进行有机物的蒸镀。这些坩埚部件需要进行定期的清洗，以保证有机物的洁净度。在清洗的过程中，需要使用喷砂工艺，以保证坩埚内部的污染物去除彻底。坩埚在进行蒸镀工艺时，有机物需要通过多个喷嘴进行蒸镀，每个喷嘴的内缘和外缘都需要保证光洁度，以此来保证蒸镀的均匀性。因此，在坩埚进行喷砂作业时，通常需要对喷嘴进行保护。但是，现阶段的喷砂保护治具通常是分散状态，由于体积较小，容易丢失，不方便进行使用，而且对喷嘴内外部的贴合度不理想，在坩埚进行喷砂作业时，砂砾会溅射到喷嘴内外部，无法保证喷嘴内外部的光洁度。

发明内容

本实用新型旨在解决现有技术的不足，而提供一种OLED制程用喷嘴的喷砂保护治具。

本实用新型为实现上述目的，采用以下技术方案：

一种OLED制程用喷嘴的喷砂保护治具，其特征在于，包括安装板，安装板上竖直固接有若干平行的喷嘴保护套，喷嘴保护套包括喷嘴外缘护套，喷嘴外缘护套的内部同轴设有喷嘴内部护塞，喷嘴内部护塞固接在喷嘴保护套内，喷嘴外缘护套与喷嘴内部护塞之间设有环形槽，环形槽为盲孔槽。

所述安装板为长方形聚乙烯板。

相邻所述喷嘴保护套之间的间距相同。

所述喷嘴外缘护套与安装板为一体结构设置。

所述喷嘴内部护塞为圆柱体结构。

所述喷嘴内部护塞与喷嘴保护套为一体结构设置。

所述环形槽与外界喷嘴相适配。

本实用新型的有益效果是：本实用新型结构设计合理，通过在同一安装板上设置若干喷嘴保护套，使用方便，解决了喷砂保护治具由于体积小而易丢失的问题，提高了部件保护效率，通过设置环形槽、喷嘴外缘护套和喷嘴内部护塞，改善了对喷嘴内外部的贴合度，在坩埚进行喷砂作业时，防止了溅射到喷嘴内外部，进而保证了喷嘴内外部的光洁度。

附图说明

图1为本实用新型的立体图；

图2为本实用新型中喷嘴保护套的立体图；

图3为本实用新型中喷嘴保护套的主视剖视图；

图4为本实用新型中喷嘴保护套的俯视图；

图中：1-安装板；2-喷嘴保护套；3-喷嘴外缘护套；4-喷嘴内部护塞；5-环形槽；

以下将结合本实用新型的实施例参照附图进行详细叙述。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明：