[实用新型]一种真空镀膜工艺腔及具有其的真空悬浮镀膜机

权利要求书

1.一种真空镀膜工艺腔，包括腔盖、腔壁和腔底板，其特征在于，还包括喷淋系统和加热吹托系统；所述喷淋系统包括成份进道、导流板和喷淋板，所述导流板设置在喷淋板上部，所述导流板中设置导流槽，所述成份进道固定在所述导流板的左、右两端；所述加热吹托系统包括加热板和吹气板，所述加热板提高工艺腔内环境的温度，所述吹气板向薄膜基带的底部吹出惰性气体托起薄膜基带。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜工艺腔，其特征在于，所述导流槽包括上导流槽、导流孔和下导流槽，所述上导流槽包括沿成份进道方向设置的主槽道和与主槽道相连的若干次槽道，若干个所述主槽道相互平行设置，所述次槽道相互交错设置，所述次槽道上设置有导流孔，所述导流孔的下端连通有下导流槽。

3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜工艺腔，其特征在于，所述喷淋板包括第一喷淋板和第二喷淋板，所述第二喷淋板固定于第一喷淋板底部，所述第一喷淋板从上至下依次设置有第一喷淋孔和第一喷淋槽；所述第二喷淋板从上至下依次设置第二喷淋孔和第二喷淋槽；所述下导流槽与第一喷淋孔连通，第一喷淋槽与第二喷淋孔连通，所述第二喷淋孔比所述第一喷淋孔小且数量比第一喷淋孔多。

4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜工艺腔，其特征在于，所述第一喷淋板通过第一喷淋板连接机构设置在所述腔盖的下部。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜工艺腔，其特征在于，所述加热吹托系统还包括支撑柱，所述加热板设置在所述支撑柱的顶部，吹气板固定在加热板上，所述支撑柱的底端固定在所述腔底板上。

6.根据权利要求5所述的一种真空镀膜工艺腔，其特征在于，所述加热吹托系统还包括反射板，所述反射板设置在支撑柱的中间台阶上。

7.根据权利要求6所述的一种真空镀膜工艺腔，其特征在于，所述加热吹托系统还包括垫片，所述垫片固定在支撑柱底部和/或支撑柱的顶部。

8.根据权利要求1所述的一种真空镀膜工艺腔，其特征在于，还包括冷却系统和抽真空系统，所述冷却系统为布满腔盖、腔壁和腔底的冷却水管系统，所述冷却水管系统设置在腔体内侧和/或外侧。

9.一种真空悬浮镀膜机，其特征在于，包括权利要求1～8中任意一项所述的真空镀膜工艺腔，还包括放卷腔、放卷过渡腔、收卷过渡腔和收卷腔；所述放卷腔、放卷过渡腔、真空镀膜工艺腔、收卷过渡腔和收卷腔依次连续设置。

10.根据权利要求9所述的一种真空悬浮镀膜机，其特征在于，还包括氮气气帘，所述氮气气帘分别设置在所述放卷过渡腔与所述真空镀膜工艺腔之间、所述真空镀膜工艺腔和收卷过渡腔之间。

11.根据权利要求10所述的一种真空悬浮镀膜机，其特征在于，所述真空镀膜工艺腔设置多个，所述氮气气帘设置在相邻的所述真空镀膜工艺腔之间。