[实用新型]一种利用低浓度HF溶液处理SiF4尾气的尾气吸收装置

权利要求书

1.一种利用低浓度HF溶液处理SiF4尾气的尾气吸收装置，包括一级循环水洗部、二级循环水洗部、三级循环水洗部、循环碱洗部以及尾气风机；所述一级循环水洗部、二级循环水洗部、循环碱洗部以及尾气风机依次逐级连通，其特征在于：所述一级循环部的输入端设置有用于缓冲待处理的SIF4气体压力波动的缓冲单元；所述缓冲单元包括尾气缓冲罐；所述尾气缓冲罐包括内部设置有缓冲腔的罐体、设置在缓冲腔内的螺旋缓冲管以及蝶阀；所述尾气缓冲罐上设置有进气管和出气管；所述螺旋缓冲管横向设置缓冲腔内；且螺旋缓冲管的两端分别与进气管和出气管连通；所述蝶阀安装在出气管的输出口内。

2.根据权利要求1所述的一种利用低浓度HF溶液处理SiF4尾气的尾气吸收装置，其特征在于：所述罐体上安装有用于推动内部低气压的SiF4气体的推动装置；所述推动装置包括空压机、引气管、单向阀以及压力监控器；所述空压机的输出端通过所述引气管和三通与进气管的中部连通；所述单向阀安装在引气管上；所述压力监控器安装在进气管上。

3.根据权利要求1或2所述的一种利用低浓度HF溶液处理SiF4尾气的尾气吸收装置，其特征在于：所述罐体上还安装有用于冷却气体的冷却装置；所述冷却装置包括水冷凝器和引水管；所述水冷凝器输出端通过所述引水管与缓冲腔连通；所述罐体底部设置有与缓冲腔连通的出水口。

4.根据权利要求3所述的一种利用低浓度HF溶液处理SiF4尾气的尾气吸收装置，其特征在于：所述循环碱洗部与尾气风机之间设置有用于将合格尾气中部分碱液回收的气液分离器；所述气液分离器的输入端与循环碱洗部的尾气输出端连通；所述气液分离器上设置有排水口和排气口；所述气液分离器的排气口与尾气风机输入端连通，排水口通过引流管与循环碱洗部中的碱液储存槽连通。

5.根据权利要求4所述的一种利用低浓度HF溶液处理SiF4尾气的尾气吸收装置，其特征在于：所述尾气风机的输出口上安装有网格型过滤板。