[实用新型]一种新型卧式四工位中频炉有效

专利信息
申请号: 202020718734.4 申请日: 2020-04-30
公开(公告)号: CN212082016U 公开(公告)日: 2020-12-04
发明(设计)人: 周琪;叶祥;沈阳 申请(专利权)人: 上海三井真空设备有限公司
主分类号: F27B17/00 分类号: F27B17/00;F27D3/00;F27D7/06;F27D11/06;F27D1/18;F27D1/00;F27D5/00
代理公司: 上海互顺专利代理事务所(普通合伙) 31332 代理人: 成秋丽
地址: 201708 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 新型 卧式 四工位 中频
【权利要求书】:

1.一种新型卧式四工位中频炉,包括支撑架(1),所述支撑架(1)上设置有炉体(2),其特征在于,所述炉体(2)设置有四个,所述炉体(2)包括石英钟罩(3)、工件放置室(4),所述支撑架(1)上还设置有中频线圈机构(5)、送料机构(6)、抽真空机构(7);

所述工件放置室(4)水平设置,所述石英钟罩(3)设置在所述工件放置室(4)一侧,且所述石英钟罩(3)室与所述工件放置室(4)连通设置;

所述送料机构(6)设置在所述工件放置腔室中,所述送料机构(6)包括工件放置台(61)、滑轮及第一驱动装置,所述滑轮转动设置在放置台底部,所述第一驱动装置驱动工件放置台(61)向石英钟罩(3)相向或背离方向滑动;

所述中频线圈机构(5)包括中频线圈(51),所述中频线圈(51)设置在石英钟罩(3)一侧,且所述中频线圈(51)正对石英钟罩(3)设置;

所述抽真空机构(7)包括真空管(71)、真空阀门(72)、真空泵(73),所述真空管(71)与所述工件放置室(4)连通设置,所述真空阀门(72)设置在真空管(71)背离所述工件放置室(4)一端,所述真空泵(73)与所述真空阀门(72)远离真空管(71)一端连通设置。

2.根据权利要求1所述的一种新型卧式四工位中频炉,其特征在于,所述中频线圈机构(5)还包括中频线圈(51)移动装置,所述中频线圈(51)移动装置包括滑移台(53)、支架、第二驱动装置,所述滑移台(53)包括滑移块(531)、滑移柱(532),所述滑移柱(532)沿所述石英钟罩(3)长度方向设置,所述滑移柱(532)穿设所述滑移块(531),使所述滑移块(531)滑动设置在滑移柱(532)上;所述支架固定设置在所述滑移块(531)上表面,所述中频线圈(51)设置在支架远离滑移块(531)一端,所述第二驱动装置驱动滑移块(531)沿滑移柱(532)长度方向进行滑移。

3.根据权利要求1所述的一种新型卧式四工位中频炉,其特征在于,抽真空机构(7)还包括涡轮分子泵(74),所述涡轮分子泵(74)与所述真空阀门(72)连通设置。

4.根据权利要求3所述的一种新型卧式四工位中频炉,其特征在于,所述涡轮分子泵(74)设置有两台,每台所述涡轮分子泵(74)均与相邻所述真空阀门(72)连通设置。

5.根据权利要求2所述的一种新型卧式四工位中频炉,其特征在于,所述中频线圈(51)通过螺栓固定设置在支架上。

6.根据权利要求1所述的一种新型卧式四工位中频炉,其特征在于,所述工件放置室(4)包括密封盖(41),所述密封盖(41)一侧铰接设置在所述工件放置室(4)侧壁上,所述密封盖(41)远离铰接位置一侧设置有锁紧件。

7.根据权利要求6所述的一种新型卧式四工位中频炉,其特征在于,所述锁紧件为锁紧螺栓(42),所述锁紧螺栓(42)穿设锁紧盖及工件放置室(4)侧壁,所述锁紧螺栓(42)与所述工件放置室(4)侧壁螺纹连接。

8.根据权利要求1所述的一种新型卧式四工位中频炉,其特征在于,所述支撑架(1)底端设置有用于转移的万向轮(8)。

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