[实用新型]一种用于磨削易碎薄壁管件内圆的管件固定装置

说明书

一种用于磨削易碎薄壁管件内圆的管件固定装置，涉及新材料技术领域，本实用新型通过在固定套管（2）的内缘面设置待磨削的管件（9），然后通过右压紧法兰（4）、左压紧法兰（6）和定心组件（3）将管件固定在固定套管内，定心组件可以单独调节，可以保证管件与固定套管同心设置等，本实用新型具有结构简单，生产效率高、成本低、结构设计合理等优点，特别适合大范围的推广和应用。

【技术领域】

本实用新型涉及新材料技术领域，具体涉及一种用于磨削易碎薄壁管件内圆的管件固定装置。

【背景技术】

已知的，新材料产业具有技术高度密集，研究与开发投入高，产品的附加值高，生产与市场的国际性强，以及应用范围广，发展前景好等特点，其研发水平及产业化规模已成为衡量一个国家经济，社会发展，科技进步和国防实力的重要标志，世界各国特别是发达国家都十分重视新材料产业的发展。以靶材为例，基于物理气相沉积原理的溅射镀膜工艺，已广泛应用于液晶显示设备、太阳能电池、太阳能真空管、半导体芯片等技术领域；而旋转型靶材是溅射镀膜工艺中常用的一种镀膜耗材，旋转型靶材一般由管状金属基材和镀膜材料层构成，正常做法是在管状金属基材外表面进行表面清洗或者吹砂完后就直接喷涂镀膜材料层，这种产品存在的问题是镀膜材料层与管状金属基材外表面结合强度较差，会影响旋转型靶材在溅射镀膜工艺中的正常使用寿命；同时由于喷涂工艺的具体要求，其所使用的硅粉的纯度不够，进而导致靶材的整体纯度较低进而影响镀膜质量。

另一种工艺是在一个完整的锭型或棒形材料上用掏料装置掏出一个空心管料，通过磨抛加工后将管料绑定在管状金属基材上，该工艺具有生产效率低，生产成本高及由于掏料工艺限制管料长度较短等缺点，成本限制无法得到大范围的推广和应用，因此，拉制管状晶体的装置就成了本领域技术人员的研究方向，当管状晶体拉制出来后，需要对管状晶体的内圆和外圆进行磨削，使管状晶体达到技术要求，那么，如何提供一种用于磨削易碎薄壁管件内圆的管件固定装置就成了本领域技术人员的长期技术诉求。

【发明内容】

鉴于背景技术中存在的不足，本实用新型公开了一种用于磨削易碎薄壁管件内圆的管件固定装置，本实用新型通过在固定套管的内缘面设置待磨削的管件，然后通过右压紧法兰、左压紧法兰和定心组件将管件固定在固定套管内等，本实用新型具有结构简单，生产效率高等优点。

为了实现上述发明的目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种用于磨削易碎薄壁管件内圆的管件固定装置，包括固定套管、定心组件、右压紧法兰和左压紧法兰，在所述固定套管两端头的外缘面上分别均布设有至少三个定心组件，所述定心组件上的升降螺母的下端头穿过固定套管的外缘面与设置在固定套管内的管件外缘面接触，在固定套管左、右两端头分别设有左压紧法兰和右压紧法兰形成所述的用于磨削易碎薄壁管件内圆的管件固定装置。

所述的用于磨削易碎薄壁管件内圆的管件固定装置，所述固定套管的内缘面与管件的外缘面之间设有套管。

所述的用于磨削易碎薄壁管件内圆的管件固定装置，在左压紧法兰与套管之间设有左限位套。

所述的用于磨削易碎薄壁管件内圆的管件固定装置，所述左压紧法兰通过螺栓固定在固定套管的左端面。

所述的用于磨削易碎薄壁管件内圆的管件固定装置，在右压紧法兰与套管之间设有右限位套。

所述的用于磨削易碎薄壁管件内圆的管件固定装置，所述右压紧法兰通过螺栓固定在固定套管的右端面。

所述的用于磨削易碎薄壁管件内圆的管件固定装置，所述固定套管两端头的外缘面上分别均布设有至少三个定心组件安装平台，在定心组件安装平台上设有贯通至固定套管内缘面的升降螺母穿孔。

所述的用于磨削易碎薄壁管件内圆的管件固定装置，所述定心组件包括螺杆、定心主体和升降螺母，所述定心主体的中部设有升降螺母，所述升降螺母内螺纹与设置在定心主体上部的螺杆丝接。