[实用新型]一种用于硅片污染物回收的吸嘴装置

权利要求书

1.一种用于硅片污染物回收的吸嘴装置，其特征在于：包括可上下移动相连的上吸嘴组件和下吸嘴组件；

所述上吸嘴组件包括扫描托架；所述扫描托架内的中心处设有用于抽吸和排出溶解液的内部吸嘴；在所述扫描托架上还设有两个气体注入部、气体排出部和压力测量部；

所述下吸嘴组件包括呈中空状的外部吸嘴支架；在所述外部吸嘴支架内设有呈中空状的外部吸嘴；所述外部吸嘴与外部吸嘴支架内壁的上部紧密配合，且所述外部吸嘴与外部吸嘴支架内壁的下部之间留有第一间隙；所述外部吸嘴的上部两侧开有第一通道，且所述第一通道与第一间隙相通；

所述内部吸嘴设置在外部吸嘴内，且两个所述气体注入部分别通过对应的第一通道与第一间隙相通；所述气体排出部和压力测量部与外部吸嘴的中空内部相通。

2.根据权利要求1所述的用于硅片污染物回收的吸嘴装置，其特征在于：所述内部吸嘴上设有用于供给溶解液的供给部以及用于在抽吸后排出溶解液的排出部，且所述供给部和排出部与外部吸嘴的中空内部相通。

3.根据权利要求1所述的用于硅片污染物回收的吸嘴装置，其特征在于：两个所述气体注入部位于内部吸嘴的两侧。

4.根据权利要求3所述的用于硅片污染物回收的吸嘴装置,其特征在于：所述气体排出部和所述压力测量部分别位于两个气体注入部的一侧。

5.根据权利要求1所述的用于硅片污染物回收的吸嘴装置,其特征在于：所述第一通道包括位于外部吸嘴两侧的沉孔和通孔；且所述通孔和沉孔通过外部吸嘴两侧的凹槽相通，且所述通孔与第一间隙相通。

6.根据权利要求1所述的用于硅片污染物回收的吸嘴装置,其特征在于：所述上吸嘴组件和所述下吸嘴组件之间可通过锁紧组件固定相连；所述锁紧组件包括设置在扫描托架上的电磁体,在所述外部吸嘴支架上的对应位置处设有与电磁体产生磁性反应的金属。