[实用新型]一种硅片自动化生产线用缓存装置有效

专利信息
申请号: 202020693263.6 申请日: 2020-04-30
公开(公告)号: CN211578712U 公开(公告)日: 2020-09-25
发明(设计)人: 彭加山;彭晓芳 申请(专利权)人: 苏州莱锦机电自动化有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/67
代理公司: 北京艾皮专利代理有限公司 11777 代理人: 丁艳侠
地址: 215200 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅片 自动化 生产线 缓存 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种硅片自动化生产线用缓存装置,包括底座,所述底座上方设置有推片,且推片上侧外壁固定连接有四根连接柱,所述连接柱固定连接有轴板,且轴板上侧外壁固定连接有立轴,所述立轴一端固定连接有移动块,且移动块活动连接有丝杠,所述丝杠两端均固定连接有固定架,且固定架固定连接有顶板。本实用新型能够通过加大生产过程的自动化,能够防止生产的硅片数量巨大,无法及时分拣以实现后续缓存,能够防止硅片堆放过多不利于生产操作,能够便于后期的搬运和储存,防止硅片散乱占据空间,能够满足大数量硅片的缓存,能够对传送过来的硅片表面进行喷气除尘,防止硅片表面存在粉尘。

技术领域

本实用新型涉及硅片缓存技术领域,尤其涉及一种硅片自动化生产线用缓存装置。

背景技术

硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一,地壳中硅元素的含量达25.8%,这为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉。硅片作为芯片的组成成分,其广泛应用于航空、航天、工业、农业和国防,以至每一个普通家庭。

硅块被切割成硅片后,还需要进行多个生产步骤,但是目前切割出的硅片由于没有特定的装置辅助,需要人工操作实现硅片的缓存,以便于完成后续的加工,当硅片数量巨大时,难以由人工操作,这大大影响了硅片的生产,因此,需要一种生产线用缓存装置来解决此类问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种硅片自动化生产线用缓存装置。

为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:

一种硅片自动化生产线用缓存装置,包括底座,所述底座上方设置有推片,且推片上侧外壁固定连接有四根连接柱,所述连接柱固定连接有轴板,且轴板上侧外壁固定连接有立轴,所述立轴一端固定连接有移动块,且移动块活动连接有丝杠,所述丝杠两端均固定连接有固定架,且固定架固定连接有顶板。

作为本实用新型再进一步的方案:所述底座上方活动连接有传送板。

作为本实用新型再进一步的方案:所述底座两侧均设置有硅片箱,且硅片箱内部设置有硅片孔。

作为本实用新型再进一步的方案:所述硅片箱的外壁固定连接有支撑架,且支撑架固定连接有滑座。

作为本实用新型再进一步的方案:所述滑座外壁固定连接有控制器,且滑座内壁滑动连接有支座。

作为本实用新型再进一步的方案:所述支座固定连接有滑轨,且滑轨滑动连接有轨道。

作为本实用新型再进一步的方案:所述顶板上侧外壁固定连接有气压箱,且气压箱两侧外壁均固定连接有输气管,输气管的一端固定连接有喷头。

本实用新型的有益效果为:

1.通过设置底座、推片和立轴,能够通过数控面板对装置的控制,使得推片推动硅片移动,加大生产过程的自动化,通过设置丝杠和移动块实现往复运动,能够防止生产的硅片数量巨大,无法及时分拣以实现后续缓存;

2.通过设置传送板、硅片箱和硅片孔,能够将生产切割后的硅片及时传送至缓存区域,防止硅片堆放过多不利于生产操作,能够将硅片放置于硅片箱内,便于后期的搬运和储存,防止硅片散乱占据空间;

3.通过设置滑座、支座和控制器,能够通过控制器控制硅片箱的向上移动,便于对硅片的缓存,通过滑轨和轨道能够实现硅片箱的横向移动,便于硅片箱存满后的向后移动,同时其他硅片箱移动过来继续缓存,满足大数量硅片的缓存;

4.通过设置气压箱、输气管和喷头,能够对传送过来的硅片表面进行喷气除尘,防止硅片表面存在粉尘。

附图说明

图1为实施例1提出的一种硅片自动化生产线用缓存装置的整体结构示意图;

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