[实用新型]一种磷硼纸膜成型喷涂均匀装置

说明书

本实用新型公开了一种磷硼纸膜成型喷涂均匀装置，主要涉及磷硼纸膜生产成型设备技术领域，包括固定板，所述固定板卡接到喷头上，固定板依次设有分散区、调整区、均匀区，所述分散区、调整区、均匀区的比例为4:1:1，所述分散区与水平的夹角为30°、所述调整区与水平的夹角为60°、所述均匀区与水平的夹角为90°，所述分散区为硬毛刷、调整区为中硬毛刷、均匀区为软毛刷，经过分散区、调整区、均匀区的三级分散、调整、均匀，将喷头物料均匀的喷涂到平辊上，达到磷硼纸膜厚度均匀的效果。

技术领域

本实用新型主要涉及磷硼纸膜生产成型设备技术领域，具体是一种磷硼纸膜成型喷涂均匀装置。

背景技术

半导体材料是微电子和光电子器件的主要材料，特别是大规模集成电路芯片上元件的集成度越来越高，元件的尺寸越来越小，半导体薄膜是构成这类器件的基本材料。半导体薄膜主要是含有磷和硼的膜状扩散源，但是这种膜状扩散源的生产较为困难，目前没有公开的技术可以参考。在成膜时，喷头将乳液喷涂在平辊上，喷头喷出的物料往往是较多的，现有的喷头往往无法均匀的将乳液进行均匀喷涂，到时平辊上的磷硼纸膜厚度不均，因此，需要一种辅助的喷涂均匀装置来解决此问题。

实用新型内容

鉴于现有技术中存在的不足和缺陷，本实用新型的目的在于提供一种磷硼纸膜成型喷涂均匀装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：一种磷硼纸膜成型喷涂均匀装置，其特征在于：包括固定板，所述固定板卡接到喷头上，固定板依次设有分散区、调整区、均匀区，所述分散区、调整区、均匀区的比例为4:1:1，所述分散区与水平的夹角为30°、所述调整区与水平的夹角为60°、所述均匀区与水平的夹角为90°，所述分散区为硬毛刷、调整区为中硬毛刷、均匀区为软毛刷。

作为本实用新型的进一步改进，在所述固定板两侧设有螺纹孔，固定板通过固定螺栓固定在喷头上。

作为本实用新型的进一步改进，所述喷头设置在分散区的中间位置。

作为本实用新型的进一步改进，所述分散区为尼龙硬毛刷、调整区为猪鬃类中硬毛刷、均匀区为马毛软毛刷。

与现有技术相比，本实用新型具有的有益效果为：在本实用新型中，经过分散区、调整区、均匀区的三级分散、调整、均匀，将喷头物料均匀的喷涂到平辊上，达到磷硼纸膜厚度均匀的效果。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明：

图1为本实用新型一种磷硼纸膜成型喷涂均匀装置的主视图；

图2为本实用新型一种磷硼纸膜成型喷涂均匀装置的俯视图；

图中：1固定板、2喷头、3分散区、4调整区、5均匀区、6固定螺栓。

具体实施方式

为了本实用新型的技术方案和有益效果更加清楚明白，下面结合具体实施例对本实用新型进行进一步的详细说明。

图1、图2为本实用新型一种磷硼纸膜成型喷涂均匀装置的结构示意图，包括固定板1，所述固定板1卡接到喷头2上，在所述固定板1两侧设有螺纹孔，固定板1通过固定螺栓6固定在喷头2上，固定板1下部依次设有分散区3、调整区4、均匀区5，所述喷头2设置在分散区3的中间位置，所述分散区3、调整区4、均匀区5的比例为4:1:1，所述分散区3与水平的夹角为30°、所述调整区4与水平的夹角为60°、所述均匀区5与水平的夹角为90°，所述分散区3为尼龙硬毛刷、调整区4为猪鬃类中硬毛刷、均匀区5为马毛软毛刷。