[实用新型]纠偏装置及原子层沉积设备

说明书

本实用新型公开了一种纠偏装置及原子层沉积设备，所述纠偏装置包括：底板，所述底板上设置有与所述底板活动连接的放卷组件、传送组件和收卷组件，物料从所述放卷组件输出，经所述传送组件传送后被所述收卷组件收卷；所述放卷组件、传送组件和收卷组件各设置有检测组件和纠偏组件，以分别对所述放卷组件、传送组件和收卷组件上传送的基材进行纠偏，如此，通过上述结构，可以实现对基材传送过程中的全过程位置纠偏。

技术领域

本实用新型涉及原子层沉积技术领域，特别涉及到一种纠偏装置及原子层沉积设备。

背景技术

现有技术中，原子层沉积工艺是在基材的传送过程中，在基材表面不断沉积单层原子层；基材从放卷装置传送到收卷装置的过程中，可能出现位置偏置，而现有技术中并不存在相应的纠偏方案，基材在传送过程中无法进行纠偏。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提出一种纠偏装置，旨在解决现有技术中基材从放卷装置传送到收卷装置的过程中，无法进行纠偏的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型提出的一种纠偏装置，所述纠偏装置包括：底板，所述底板上设置有与所述底板活动连接的放卷组件、传送组件和收卷组件，物料从所述放卷组件输出，经所述传送组件传送后被所述收卷组件收卷；放卷检测组件，所述放卷检测组件设置于所述放卷组件的放料路径上，所述放卷检测组件用于检测输出的物料是否偏位；放卷纠偏组件，所述放卷纠偏组件连接至所述放卷组件，所述放卷纠偏组件用于根据所述放卷检测组件的检测结果调整所述放卷组件的位置；传送检测组件，所述传送检测组件设置于所述传送组件的传送路径上，所述传送检测组件用于检测传送的物料是否偏位；传送纠偏组件，所述传送纠偏组件连接至所述传送组件，所述传送纠偏组件用于根据所述传送检测组件的检测结果调整所述传送组件的位置；收卷检测组件，所述收卷检测组件设置于所述收卷组件的收料路径上，所述收卷检测组件用于检测收卷组件接收的物料是否偏位；收卷纠偏组件，所述收卷纠偏组件连接至所述收卷组件，所述收卷纠偏组件用于根据所述收卷检测组件的检测结果调整所述收卷组件的位置。

进一步地，所述放卷检测组件、传送检测组件固定于所述底板上；所述收卷检测组件设置于所述收卷组件上，在所述收卷纠偏组件驱动下，所述收卷检测组件跟随所述收卷组件一齐运动。

进一步地，所述放卷组件包括：放料支架，所述放料支架上设置有可转动的放料滚筒，物料转绕于所述放料滚筒上，所述放料支架底部设置有放料滑槽；放料滑轨，所述放料滑轨设置于所述底板上，所述放料滑轨与所述放料滑槽滑动配合，所述放料滑轨的滑动方向与所述物料的放料方向垂直。

进一步地，所述放卷检测组件包括：放卷检测支架，所述放卷检测支架设置于所述底板上；放卷红外传感器，所述放卷红外传感器设置于所述放卷检测支架上，所述放卷红外传感器包括放卷发射器和放卷接收器，所述放卷发射器和放卷接收器之间形成第一光路，通过检测所述第一光路的通断判断物料的偏位方向。

进一步地，所放卷纠偏组件包括：放卷纠偏驱动件，所述放卷纠偏驱动件设置于所述底板上；放卷纠偏杆，所述放卷纠偏杆连接所述放卷纠偏驱动件和所述放料支架，在所述放卷纠偏驱动件的驱动作用下，所述放卷纠偏杆带动所述放料支架在所述放料滑轨上来回运动以进行纠偏。

进一步地，所述传送组件包括：多个鱼眼轴承组件，所述鱼眼轴承组件包括间隔设置于底板上的两个支撑杆，两个所述支撑杆的顶端设置有连接轴，所述连接轴上套设有鱼眼轴承，所述鱼眼轴承上设置有连接座；活动板，所述活动板设置于所述连接座上，所述活动板上设置有可转动设置的多个传送辊。

进一步地，所述传送纠偏组件包括：直线导轨，所述直线导轨设置于所述底板上；连接板，所述连接板上设置有滑槽，所述滑槽与直线导轨滑动配合；传动轴承，所述传动轴承包括内圈、外圈以及设置于内圈、外圈之间的滚珠，所述内圈与所述连接板固定连接，其中一个所述鱼眼轴承组件的连接轴与所述外圈固定连接；驱动件，所述驱动件连接至所述连接板，以驱动所述连接板在所述直线导轨上来回滑动。