[实用新型]一种堆叠式光波导结构有效
| 申请号： | 202020633630.3 | 申请日： | 2020-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN212111857U | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 黄向向;杨敏;道格拉斯·雷·斯巴克斯;关健;张晓磊 | 申请（专利权）人： | 罕王微电子（辽宁）有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/13;G02B6/136 |
| 代理公司： | 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 21001 | 代理人： | 张晨 |
| 地址： | 113000 辽宁省抚顺*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 堆叠 波导 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种堆叠式光波导结构，其特征在于：所述的堆叠式光波导结构，包括衬底晶圆(1)，光波导层(2)，光纤(3)，光纤底座(4)，键合界面(5)；
其中：衬底晶圆(1)之间带有键合界面(5)，衬底晶圆(1)上带有光波导层(2)，在衬底晶圆(1)上带有光纤底座(4)，光纤(3)固定在光纤底座(4)上，多层衬底晶圆(1)为整体结构，实现堆叠式多光波导器件。
2.按照权利要求1所述的堆叠式光波导结构，其特征在于：所述的衬底晶圆(1)为多层结构，下面各层设有凹槽，凹槽内布置光纤(3)，顶上面一层为盖状结构。
3.按照权利要求1所述的堆叠式光波导结构，其特征在于：所述的衬底晶圆(1)优选为三层结构，下面两层设有凹槽，凹槽内布置光纤(3)，顶上面一层为盖状结构。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于罕王微电子（辽宁）有限公司，未经罕王微电子（辽宁）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202020633630.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：防护装置、油缸组件和机械设备
- 下一篇：一种整粒机的出料装置
