[实用新型]一种电镀陶瓷靶材用密封保护装置

权利要求书

1.一种电镀陶瓷靶材用密封保护装置，其特征在于：包括包覆靶材(1)的非电镀面的保护套(2)，分别将所述保护套(2)与所述靶材(1)的两个端面压紧的第一盖板(3)、第二盖板(4)，用于固定第一盖板(3)、第二盖板(4)的固定装置。

2.根据权利要求1所述的电镀陶瓷靶材用密封保护装置，其特征在于：所述固定装置包括多根固定杆(51)和对应的多个固定部件(52)，所述固定杆(51)的一端固定于所述第一盖板(3)上，所述固定杆(51)的另一端穿过所述第二盖板(4)上的固定孔(41)，所述固定部件(52)安装于所述固定杆(51)的穿过所述固定孔(41)的一端，从而使得所述第一盖板(3)、第二盖板(4)压紧对应的所述靶材(1)的端面。

3.根据权利要求2所述的电镀陶瓷靶材用密封保护装置，其特征在于：所述第一盖板(3)具有向外延伸的用于与所述固定杆(51)的一端焊接的焊接部(31)，所述焊接部(31)对应所述固定杆(51)设有多个。

4.根据权利要求2所述的电镀陶瓷靶材用密封保护装置，其特征在于：所述固定杆(51)沿所述第一盖板(3)的外周间隔均匀设有三个。

5.根据权利要求4所述的电镀陶瓷靶材用密封保护装置，其特征在于：所述固定部件(52)为螺母。

6.根据权利要求5所述的电镀陶瓷靶材用密封保护装置，其特征在于：所述螺母的底部还垫设有垫片(53)。

7.根据权利要求1至5任一项权利要求所述的电镀陶瓷靶材用密封保护装置，其特征在于：所述保护套(2)的材质为硅胶。

8.根据权利要求1至5任一项权利要求所述的电镀陶瓷靶材用密封保护装置，其特征在于：所述第一盖板(3)、第二盖板(4)、固定装置的材质为不锈钢。