[实用新型]一种用于晶圆多片搬动的机械手结构

权利要求书

1.一种用于晶圆多片搬动的机械手结构，其特征在于，包括Y轴前后移动组件和Z轴爪间距调整组件、单片爪和多片爪；

所述的Z轴爪间距调整组件包括底板，底板上设有多根竖向丝杠轴，每根丝杠轴两端的螺纹旋向相反，每根丝杠轴上设有相同数量的丝杠螺母；不同丝杠轴上相同高度的丝杠螺母为一组，通过机械爪安装座相连为一个整体，同步运动，多片爪固设于机械爪安装座上，多个多片爪中线重合；每根丝杠轴底部均设有从动轮，驱动电机设于底板上，电机轴垂直于板面，电机轴底部设有主动轮；所述主动轮通过同步带连接多个从动轮；

所述的Y轴前后移动组件包括移动基座，移动基座上平行对称设有Y1单爪移动组件和Y2多爪移动组件，Y1单爪移动组件和Y2多爪移动组件结构相同，均包括滚珠花键轴和同步带；滚珠花键轴与同步带平行设置，滚珠花键轴上设有花键母安装座，同步带两端设有传动轮，其中一个传动轮上设有电机，同步带与花键母安装座相连；所述底板固设于Y2多爪移动组件的花键母安装座上，所述单片爪通过立式支撑臂与Y1单爪移动组件的花键母安装座相连，单片爪位于多个多片爪的对称中心。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆多片搬动的机械手结构，其特征在于，所述的从动轮至少有两个。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆多片搬动的机械手结构，其特征在于，每个多片爪上爪片数量为偶数。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆多片搬动的机械手结构，其特征在于，所述Z轴爪间距调整组件外还设有钣金护罩。

5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆多片搬动的机械手结构，其特征在于，所述Z轴爪间距调整组件上的同步带还连接有惰轮，用于张紧同步带且增大同步带在从动轮上的包角，增加传动过程中的稳定性和精度。