[实用新型]一种新型硅片用批量输送装置

权利要求书

1.一种新型硅片用批量输送装置，包括底部支撑框架，其特征在于，底部支撑框架上设置有纵向输送组件和横向输送组件，横向输送组件上还配合设置有隔层框架，隔层框架安装在底部支撑框架上；

所述纵向输送组件包括上部进口和下部出口，横向输送组件包括前部进口和后部出口；

所述隔层框架的上面为上工作部，上工作部通过隔层框架的隔板与横向输送组件隔开；

所述上部进口对应上工作部设置，下部出口对应前部进口设置，后部出口位于底部支撑框架的边缘并与下一道工序的设备连接；

所述底部支撑框架内配合设置有用于驱动纵向输送组件和横向输送组件的驱动装置；

所述底部支撑框架的四周设置有挡板，隔层框架四周还设置有挡板。

2.根据权利要求1所述的一种新型硅片用批量输送装置，其特征在于：所述纵向输送组件包括外部升降机构、安装在外部升降机构上的升降输送台、配合升降输送台设置的批量输送机构。

3.根据权利要求2所述的一种新型硅片用批量输送装置，其特征在于：所述外部升降机构包括设置在一侧的若干组纵向滑轨、设置在另一侧的升降气缸及用于对升降气缸进行限位的限位柱、设置在纵向滑轨和限位柱之间的升降板。

4.根据权利要求2所述的一种新型硅片用批量输送装置，其特征在于：所述升降输送台位于纵向滑轨和限位柱之间并放置在升降板上，升降输送台为皮带输送机，升降输送台直接与前部进口对应设置。

5.根据权利要求2所述的一种新型硅片用批量输送装置，其特征在于：所述批量输送机构包括左侧转动机构和右侧转动机构，左侧转动机构驱动左侧齿带，右侧转动机构驱动右侧齿带，左侧齿带和右侧齿带之间自上而下间隔放置有若干片硅片，每片硅片均卡在左侧齿带和右侧齿带对应的卡槽中。