[实用新型]一种缓冲式垂直探针卡及关键机构

说明书

本实用新型公开了一种缓冲式垂直探针卡，包括检测台、夹紧机构和检测机构，所述检测台上端左右两侧分别开设有滑槽，检测台上端前后两侧分别开设有探针孔，所述夹紧机构包括一号固定板、一号夹板、螺纹杆、二号夹板和二号固定板，一号固定板位于滑槽左侧，二号固定板位于滑槽右侧，一号固定板与二号固定板之间穿插有螺纹杆，螺纹杆套设有一号夹板、二号夹板，一号夹板装设在左侧滑槽内，二号夹板装设在右侧滑槽内，所述检测机构包括PCB板和探针，PCB板上端固定连接有空心管，空心管上端开设有凹槽，空心管上端通过凹槽装设有接触探头。本实用新型便于将芯片固定在检测台上，减小引脚与探针的接触应力，且便于将引脚与探针相互接触。

技术领域

本实用新型涉及一种垂直探针卡，具体是一种缓冲式垂直探针卡及关键机构。

背景技术

近年来半导体制程技术突飞猛进，超前摩尔定律预估法则好几年，现阶段已向32奈米以下挺进。目前产品讲求轻薄短小，IC体积越来越小、功能越来越强、脚数越来越多，为了降低芯片封装所占的面积与改善IC效能，现阶段覆晶(Flip Chip)方式封装普遍被应用于绘图芯片、芯片组、存储器及CPU等。上述高阶封装方式单价高昂，如果能在封装前进行芯片测试，发现有不良品存在晶圆当中，即进行标记，直到后段封装制程前将这些标记的不良品舍弃，可省下不必要的封装成本垂直探针是将探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的。探针卡应用在IC尚未封装前，针对裸晶系以探针做功能测试，筛选出不良品、再进行之后的封装工程。因此，它是IC制造中对制造成本影响相当大的重要制程之一。

现有探针卡检测时需要多次检测，检测过程中引脚与探针头部将受到较大应力，且传统固定式检测时可能出现部分探针与引脚未接触。因此，我们提供了一种缓冲式垂直探针卡，以解决上述背景技术中提出的问题。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种缓冲式垂直探针卡，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种缓冲式垂直探针卡，包括检测台、夹紧机构和检测机构，所述检测台上端左右两侧分别开设有滑槽，检测台上端前后两侧分别开设有探针孔；

所述夹紧机构包括一号固定板、一号夹板、螺纹杆、二号夹板和二号固定板，一号固定板位于滑槽左侧，二号固定板位于滑槽右侧，一号固定板与二号固定板之间穿插有螺纹杆，螺纹杆套设有一号夹板、二号夹板，一号夹板装设在左侧滑槽内，二号夹板装设在右侧滑槽内；

所述检测机构包括PCB板和探针，PCB板上端固定连接有空心管，空心管上端开设有凹槽，空心管上端通过凹槽装设有接触探头，接触探头下端固定连接有弹性块，弹性块下端与凹槽底面固定连接，空心管内部装设有连接导线，连接导线上端穿过弹性块与接触探头固定连接，连接导线下端与PCB板引脚焊接。

作为本实用新型进一步的方案：所述螺纹杆左右两端分别设有螺纹，且两端螺纹旋向相反。

作为本实用新型再进一步的方案：所述螺纹杆左侧螺纹区间右端固定套设有一号限位挡板，螺纹杆右侧螺纹区间左端固定套设有二号限位挡板。

作为本实用新型再进一步的方案：所述螺纹杆左端穿过一号固定板，且螺纹杆左端装设有把手。

作为本实用新型再进一步的方案：所述一号夹板与二号夹板内侧分别固定连接有卡板，卡板内侧固定连接有垫块。

作为本实用新型再进一步的方案：所述探针穿插在探针孔内，探针侧面固定设置有环形挡块。

作为本实用新型再进一步的方案：所述空心管下端与PCB板上表面固定连接。