[实用新型]一种从光纤预制棒烧结炉排放尾气里回收氦气的装置

权利要求书

1.一种从光纤预制棒烧结炉排放尾气里回收氦气的装置，其特征在于，包括依次管路连接的：钛合金冷却器(1)、真空泵(2)、碱液池(3)、气囊(4)、压缩机(5)、冷却器(6)、分子筛(7)、低温吸附器(8)和充装膜压机(10)。

2.根据权利要求1所述的从光纤预制棒烧结炉排放尾气里回收氦气的装置，其特征在于，所述充装膜压机(10)的氦气出口连接有充装汇流排(11)。

3.根据权利要求1所述的从光纤预制棒烧结炉排放尾气里回收氦气的装置，其特征在于，所述低温吸附器(8)和充装膜压机(10)的连接管路上设有氦气分析仪(9)。

4.根据权利要求1所述的从光纤预制棒烧结炉排放尾气里回收氦气的装置，其特征在于，所述钛合金冷却器(1)连接烧结炉的排气口，且所述烧结炉通空气的端口密封。