[实用新型]一种靶材帮定控温装置有效

专利信息
申请号: 202020614865.8 申请日: 2020-04-22
公开(公告)号: CN211786811U 公开(公告)日: 2020-10-27
发明(设计)人: 李兵 申请(专利权)人: 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
主分类号: G05D23/22 分类号: G05D23/22;C23C14/34
代理公司: 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 代理人: 林晓宏
地址: 523000 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 靶材帮定控温 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种靶材帮定控温装置,包括主控柜、设置与主控柜内的控制电路和独立于主控柜的发热组件,控制电路设置有三相电源输入端,发热组件包括均布于帮定平台的多组发热件以及与发热件电连接的温控装置,三相电源输入端与温控装置电连接,温控装置包括有温控记录仪、温控器、温控表、调功器,温控表电连接于温控记录仪的信号接收口,温控记录仪电连接于温控器的信号接收口,温控器电连接于调功器的信号接收口,调功器于发热件电连接;通过在帮定平台上均布多组发热件以及温控装置,对帮定平台上的温度进行实时监控和加热,使得帮定平台不同区域之间的温度相近,提高帮定效果。

技术领域

本实用新型涉及靶材的温度控制技术领域,尤其是涉及一种靶材帮定控温装置。

背景技术

靶材的应用行业广泛,种类也多种多样,在靶材生产过程中,帮定加工是重要的生产环节之一。平面帮定生产是将平面靶材帮定在基板上,要求对粘合材料的加热要均匀,有可靠的温控系统进行温度控制,由于实际加热过程中,帮定发热平台两侧的散热要比中间部分快,造成两侧的温度较中间部分低十几度,直接影响到帮定效果,因此有必要予以改进。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足,本实用新型的目的是提供一种能有效控制发热平台全部温度的靶材帮定控温装置。

为了实现上述目的,本实用新型所采用的技术方案是:一种靶材帮定控温装置,包括主控柜、设置与主控柜内的控制电路和独立于主控柜的发热组件,控制电路设置有三相电源输入端,发热组件包括均布于帮定平台的多组发热件以及与发热件电连接的温控装置,三相电源输入端与温控装置电连接,温控装置包括有温控记录仪、温控器、温控表、调功器,温控表电连接于温控记录仪的信号接收口,温控记录仪电连接于温控器的信号接收口,温控器电连接于调功器的信号接收口,调功器于发热件电连接。

进一步的技术方案中,所述主控柜上设置有电源钥匙开关、电源指示灯,三相电源输入端和电源钥匙开关串联以形成一供电支路,供电支路的输出端电连接所述温控记录仪,在电源钥匙开关闭合时,供电支路电性导通温控记录仪,温控记录仪输出温度控制信号至所述温控器,温控器接收控制信号后将控制信号传递至所述调功器,以实现调控调功器所输出电压和/或电流大小,各调功器分别与各所述发热件电连接;电源钥匙开关和电源指示灯串联形成以电源指示电路,在电源钥匙开关闭合时,电源指示电路导通。

进一步的技术方案中,所述温控记录仪设置有操作界面和显示界面,温控记录仪经由操作界面向所述温控器的通讯接口输入调温信号,温控器接收该调温信号调控后再将调温信号传输至所述调功器,调功器根据该调温信号调控所输出电压和/或电流大小。

进一步的技术方案中,所述温控表包括一K型热电偶,K型热电偶电与温控表电连接,并将监测温度实时反馈至温控表。

进一步的技术方案中,所述供电支路的输出端并联有启停控制回路、停止指示支路、报警支路、继电器KA和继电器KM,启停控制回路设置有紧急停止按钮SB1、停止运行按钮SB2、启动运行按钮SB3,紧急停止按钮SB1、停止运行按钮SB2为常闭开关;继电器线圈KM1、继电器线圈KA2、继电器线圈KA3、绿色指示灯并联后与紧急停止按钮SB1、停止运行按钮SB2、启动运行按钮SB3串联形成启停控制回路,在电源钥匙开关和启动运行按钮SB3导通时,启停控制回路电性导通;停止支路设置有停止指示灯,紧急停止按钮SB1、常闭开关KM1、停止指示灯串联形成停止指示支路,在电源钥匙开关SA和启动运行按钮SB3导通时,常闭开关KM1断开,停止指示支路不导通。

采用上述结构后,本实用新型和现有技术相比所具有的优点是:本实用新型通过在帮定平台上均布多组发热件以及温控装置,对帮定平台上的温度进行实时监控和加热,使得帮定平台不同区域之间的温度相近,提高帮定效果。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的电路原理图的第一部分。

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