[实用新型]一种新型曝光系统

权利要求书

1.一种新型曝光系统，包括：第一晶圆，第一晶圆吸盘，第二晶圆，第二晶圆吸盘，分布式照明光源，长度测量机构，间隔球，晶圆对准机构，驱动机构，控制器，计算机；其特征在于，

第一晶圆和第二晶圆上分别设有Q个对应的定位标记，Q为≥1的整数；

第一晶圆吸盘，用于固定保持第一晶圆；

第二晶圆吸盘，用于固定保持第二晶圆；

分布式照明光源，包含L个子照明区域，L为≥1的整数；

长度测量机构，包含P个长度计，P为≥3的整数；

间隔球，置于第一晶圆吸盘下表面和第二晶圆吸盘上表面之间，间隔球的数量与长度计的数量对应一致；

晶圆对准机构，配置为检测各晶圆对应定位标记，晶圆对准机构包括用于提供测量的光源；

驱动机构，配置为调整第一晶圆吸盘和第二晶圆吸盘的相对位置，进而调整第一晶圆和第二晶圆的相对位置，进行晶圆对准补偿；

控制器，配置为控制驱动机构的行动，控制分布式照明光源每个子照明区域的发光；

计算机，配置为处理曝光成像、长度测量机构输出数据，计算对准校正数据、长度测量机构校正数据，执行控制器的操作程序。

2.根据权利要求1所述的一种新型曝光系统，其特征在于，第一晶圆、第二晶圆选自光罩、模具、多玻璃板阵列、玻璃晶圆或半导体晶元。

3.根据权利要求1所述的一种新型曝光系统，其特征在于，分布式照明光源设置在第一晶圆吸盘上方。

4.根据权利要求1-3任一项所述的一种新型曝光系统，其特征在于，晶圆对准机构设置在第一晶圆吸盘上方或第二晶圆吸盘下方。

5.根据权利要求4所述的一种新型曝光系统，其特征在于，长度计安置在第一晶圆吸盘上部，长度计中设置有可伸缩的探针，用于测量间距。