[实用新型]一种贴膜装置

权利要求书

1.一种贴膜装置，其特征在于，包括：

贴合台板，所述贴合台板的一侧表面形成用于对待贴膜样品进行固定的固定面；

设置于所述贴合台板固定面一侧的移动台板，所述移动台板朝向所述贴合台板的一侧表面形成用于承载保护膜的承载面，所述移动台板可沿与所述固定面平行的第一方向移动，所述移动台板包括第一端和第二端，所述第一端和第二端在所述固定面上的正投影沿第一方向排列，且沿所述第一方向，所述承载面与所述固定面之间的距离由第一端向第二端逐渐增大，所述移动台板包括用于对保护膜进行吸附的第一吸附区域和第二吸附区域，所述第一吸附区域和第二吸附区域在固定面上的正投影沿所述第一方向排列，所述移动台板还包括用于控制所述第一吸附区域的吸附状态的第一控制装置以及用于控制所述第二吸附区域的吸附状态的第二控制装置；

设置于所述移动台板第一端远离所述第二端一侧的贴合滚轮，所述贴合滚轮用于与所述保护膜背离所述贴合台板的一侧接触以将所述保护膜与所述待贴膜样品贴合。

2.根据权利要求1所述的贴膜装置，其特征在于，所述第一吸附区域的面积小于所述第二吸附区域的面积。

3.根据权利要求1所述的贴膜装置，其特征在于，所述第一吸附区域设置有多个用于对保护膜进行吸附的第一真空吸孔，所述第二吸附区域设置有多个用于对保护膜进行吸附的第二真空吸孔。

4.根据权利要求3所述的贴膜装置，其特征在于，所述第一吸附区域内多个第一真空吸孔的分布密度大于所述第二吸附区域内多个第二真空吸孔的分布密度，且所述第一真空吸孔的孔径小于所述第二真空吸孔的孔径。

5.根据权利要求4所述的贴膜装置，其特征在于，第一真空吸孔的孔径范围为0.5mm至1mm，第二真空吸孔的孔径范围为1mm至2mm。

6.根据权利要求1所述的贴膜装置，其特征在于，所述第一控制装置为真空泵，所述第二控制装置为真空泵。

7.根据权利要求1所述的贴膜装置，其特征在于，还包括用于检测所述第一吸附区域当前吸附状态的第一检测装置和用于检测所述第二吸附区域当前吸附状态的第二检测装置。

8.根据权利要求7所述的贴膜装置，其特征在于，所述第一检测装置包括多个与各个第一真空吸孔对应的第一压力传感器，所述第二检测装置包括多个与各个第二真空吸孔对应的第二压力传感器。

9.根据权利要求1所述的贴膜装置，其特征在于，所述贴合台板的固定面上形成有用于对待贴膜样品进行固定的固定部。

10.根据权利要求9所述的贴膜装置，其特征在于，所述固定部为多个第三真空吸孔。