[实用新型]一种真空样品转移装置

说明书

本实用新型公开了一种真空样品转移装置，属于扫描电镜真空配件技术领域。它包括传样部分、球阀、对接部分和样品测试部分，所述传样部分包括旋转滑块、密封板、传样筒、样品夹台、样品托、移动抓取机构、传样杆、固定筒。本实用新型隔绝了待测样品与大气的接触，避免了样品受空气污染或侵蚀，使样品一直处于真空环境；避免了每次测样都需要打开电镜舱门，节省了重新抽真空的时间，使得电镜一直处于真空状态下；提高了电镜的使用寿命，同时扫描电镜出故障几率，节约昂贵的维修费用，提高仪器的使用率。

技术领域

本实用新型涉及一种真空样品转移装置，属于扫描电镜真空配件技术领域。

背景技术

现在越来越多的电镜实验中需要将样品在真空或者惰性气体下进行转移，因为这些材料在大气中一旦暴露，就会受到空气中的水和氧气的影响，和样品表面的物质发生化学反应，导致无法对材料进行观察分析。

发明内容

本实用新型针对上述背景技术中所提及的问题，而采取以下技术方案来实现：

一种真空样品转移装置，包括传样部分、球阀、对接部分和样品测试部分，所述传样部分包括旋转滑块、密封板、传样筒、样品夹台、样品托、移动抓取机构、传样杆、固定筒，所述传样筒的一侧与球阀一端相连通，所述对接部分与球阀另一端相连通，所述样品测试部分位于对接部分的一侧，所述传样杆包括第一传样杆和第二传样杆，所述第一传样杆一端和第二传样杆螺纹连接，所述传样筒套设在第一传样杆的一端，且所述传样筒的内部还设有用于对第一传样杆起密封作用的第一密封机构，所述移动抓取机构的一端与样品夹台通过旋转螺丝可拆卸式固定相连，所述样品托固定安装在样品夹台上，所述旋转滑块的一侧通过螺丝与密封板固定连接，所述旋转滑块的一端还设有用于旋转旋转滑块的传动机构，当所述传动机构对旋转滑块进行旋转时，此时所述密封板将传样筒与球阀连通处进行封堵和/或分离。

作为优选实例，所述移动抓取机构包括移动抓取头、移动滑块、移动弹簧，所述移动抓取头的形状为台型状，所述第一传样杆的另一端螺纹套接在移动抓取头的一端，所述移动滑块和移动弹簧均分别位于移动抓取头的内部，且位于移动抓取头内部的第一传样杆与移动弹簧相固定，且所述移动弹簧还限制活动在台型状的移动抓取头的内部，所述移动滑块的一端与移动弹簧的另一端相固定，所述旋转螺丝的一端贯穿并伸入移动抓取头的内部，并与移动滑块的另一端相抵，所述旋转螺丝的另一端与样品夹台相固定，所述移动抓取头的一端设有与旋转螺丝相匹配的旋转孔，当所述样品夹台与移动抓取头相固定时，此时所述旋转螺丝还卡接在旋转孔内部。

作为优选实例，所述旋转孔的形状为L型孔。

作为优选实例，所述第一密封机构包括第一O圈压块、第一型密封圈和第一螺母，所述传样筒的内部还设有第一通道和第二通道，所述第一通道位于传样筒的内部，所述第二通道位于传样筒的一端端部，所述第一通道一端与第二通道一侧相连通，且所述第二通道和第一通道形成T型通道，所述第一圈压块和第一O型密封圈的个数均为多个，且多个所述第一圈压块和多个第一O型密封圈交替分布在第一通道的内部，多个所述第一圈压块和多个第一O型密封圈均套接在第一传样杆上，所述第一螺母活动套接在第一传样杆上，且所述第一螺母的一侧与第二通道内侧壁螺纹连接，并压紧第一圈压块的一端。

作为优选实例，所述传动机构包括回位弹簧、固定筒、旋转轴、旋转手柄，所述固定筒固定套接在传样筒上，且所述固定筒内部通道与传样筒的第一通道相连通，所述旋转轴固定套接在固定筒的内部，且所述固定筒的内部还设有用于对旋转轴起密封作用的第二密封机构，并伸入传样筒的内部，且与旋转滑块相固定，所述旋转手柄与旋转轴的一端相固定，所述回位弹簧套接在旋转轴上，且所述回位弹簧的一端与旋转手柄相抵，所述回位弹簧的另一端与固定筒的侧壁上的第二密封机构相抵。