[实用新型]一种硅片切割机绕线装置

说明书

本实用新型公开了一种硅片切割机绕线装置，包括绕线筒和橡胶槽，所述橡胶槽为多个，且多个橡胶槽均匀的开设在绕线筒的外圈表面，所述橡胶槽内环绕固定有软磁铁，且软磁铁的外圈表面环绕固定有橡胶垫，且橡胶垫的中部表面环绕开设有线槽，所述绕线筒的橡胶槽内部表面开设有卡槽，且软磁铁的内侧设置有卡块，卡块和卡槽均为多个，且卡块置于卡槽内。本实用新型通过在绕线筒外圈设置橡胶槽，并使橡胶槽内通过软磁铁固定有橡胶垫，使橡胶垫表面开设有固定切割钢丝的线槽，切割时橡胶垫能够减少绕线筒和切割钢丝之间的磨损且能够方便更换橡胶垫，软磁铁的卡块与卡槽啮合能够避免橡胶垫在橡胶槽内滑动。

技术领域

本实用新型涉及硅片切割技术领域，具体为一种硅片切割机绕线装置。

背景技术

目前，随着全球各国绿色能源的推广和近年来半导体产业的超常规发展，硅片市场的供需已极度不平衡，切割加工能力的落后和产能的严重不足已构成了产业链的瓶颈。作为硅片(晶圆)上游生产的关键技术，近年来崛起的新型硅片多丝切割技术具有切割表面质量高、切割效率高和可切割大尺寸材料、方便后续加工等特点。

多丝切割是将多股切割钢丝绕在三个绕线筒上，然后由其驱动切割钢丝转动，之后对硅锭进行切割，在切割过程中，不仅会对切割钢丝造成磨损，同时还会对绕线筒造成磨损，影响绕线装置的使用寿命。因此，我们提出一种硅片切割机绕线装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅片切割机绕线装置，通过在绕线筒外圈设置橡胶槽，并使橡胶槽内通过软磁铁固定有橡胶垫，使橡胶垫表面开设有固定切割钢丝的线槽，切割时橡胶垫能够减少绕线筒和切割钢丝之间的磨损且能够方便更换橡胶垫，软磁铁的卡块与卡槽啮合能够避免橡胶垫在橡胶槽内滑动，解决了背景技术中所提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅片切割机绕线装置，包括绕线筒和橡胶槽，所述橡胶槽为多个，且多个橡胶槽均匀的开设在绕线筒的外圈表面；

所述橡胶槽内环绕固定有软磁铁，且软磁铁的外圈表面环绕固定有橡胶垫，且橡胶垫的中部表面环绕开设有线槽，所述绕线筒的橡胶槽内部表面开设有卡槽，且软磁铁的内侧设置有卡块，卡块和卡槽均为多个，且卡块置于卡槽内。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述绕线筒的两端均连接有转杆，且转杆与绕线筒传动连接。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述软磁铁和橡胶垫的宽度与橡胶槽的内部宽度相等。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述橡胶垫通过贴合的方式固定在软磁铁的表面。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述绕线筒为铁合金制成。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1.本实用新型的硅片切割机绕线装置，通过在绕线筒外圈设置橡胶槽，并使橡胶槽内通过软磁铁固定有橡胶垫，使橡胶垫表面开设有固定切割钢丝的线槽，切割时橡胶垫能够减少绕线筒和切割钢丝之间的磨损且能够方便更换橡胶垫，软磁铁的卡块与卡槽啮合能够避免橡胶垫在橡胶槽内滑动。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型硅片切割机绕线装置的整体结构示意图；

图2为本实用新型硅片切割机绕线装置的橡胶槽处截面结构示意图；

图3为本实用新型硅片切割机绕线装置的软磁铁固定结构示意图。

图中：1、绕线筒；2、转杆；3、橡胶槽；4、橡胶垫；5、软磁铁；6、线槽；7、卡块；8、卡槽。

具体实施方式